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UV-LED照射器 ALE/1

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UV-LED照射器 ALE/1

UV-LED照射器 ALE/1
UV-LED照射器 ALE/1
Primlite

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED紫外線光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

ALE/1は、多くの半導体製造プロセス、FPD、印刷、3Dプリンタ等の生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能な紫外線照射装置です。 また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を10msecまで短縮できます。ご使用の製造装置に含まれるどの機器ともシームレスに通信できるように、様々な種類の通信インターフェースを用意しています。

UV硬化の仕組み

製品の特徴

  • ハイパワーUV出力:最大30W
  • 水銀不使用
  • LEDで高安定、ランニングコスト削減
  • 内蔵するLEDを選択可能
  • 365nm/385nm/405nm/435nm
    (オプションでVIS(470、520、620、660、690nm)、
     NIR(730、770、810、850、970nm)など幅広い波長領域からLEDを選択できます。)
  • 閉ループ制御による出力
  • 外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

価格のお問い合わせ、お見積り等、お気軽にご相談ください。

製品情報

モデル一覧

  • ALE/1.1
  • ALE/1.2
  • ALE/1.3

仕様

ALE/1.1 ALE/1.2 ALE/1.3
主な用途 フォトリソグラフィ 3Dプリンティング 3Dプリンティング 3Dプリンティング
UV硬化
フォトリソグラフィ
スペクトル 単色 単色 多色 多色 多色
LEDの数 1 1 2 3 3
LEDの出力波長 365nm(i線) or
405nm(h線) or
435nm(g線)
365nm or
385nm or
405nm
385nm,
405nm
365nm,
385nm,
405nm
365nm(i線),
405nm(h線),
435nm(g線)
全放射出力* 最大17W 最大20W 最大24W 最大28W
出力強度* 最大35W/cm2 最大40W/cm2 最大50W/cm2 最大55W/cm2
開口数 0.6/70°(2α)
ライトガイド
オプション
コア径:φ6.5mm/φ8mm 分岐:分岐なし/分岐あり(multi pole) 
長さ:1.5m(標準)/カスタマイズ可
通信インター
フェース
タッチディスプレイ、AUX、USB、PLC、およびフィールドバス(例:CANopen)
熱管理 内部水冷式
寸法(WHD) 28x23x40cm(11.0″×9.1″×15.7″)
重量 14.0kg(30.9lbs)
電源入力 110~240VAC/50-60Hz/1,000W

*ライトガイド(直径8mm、長さ1.5m)の出射端で測定/±10% deviation possible

UV照射器の選び方

アプリケーション

技術情報

半導体露光における構成比較(従来光源と当製品)

水銀ランプを使用した場合の従来構成
水銀ランプを使用した場合の従来構成
ALE/1を使用した場合の構成
ALE/1を使用した場合の構成

強力発光を機器に簡単に組み込む

高輝度UV放射のコンパクトな統合のための様々なオプション(ライトガイド、レンズ光学系など)。

強力発光を機器に簡単に組み込む
  • 面発光も可能です。
  • 他の硬化装置(UVコンベヤードライヤーなど)を使う必要性はありません。
  • (塗布装置内で)塗布後すぐに硬化することで、スペースの節約や時間短縮へと繋がります。
  • 小さな面積をより抜き、硬化することができます。
  • マルチスペクトル発光により、異なる接着剤を用いた場合でも、一度に硬化できます。

ALE/1のメリット

UV-LED照射器ALE/1の最大のメリットはランニングコストを抑えられることです。
ランニングコストを抑制できる理由は、LEDを用いているという点にあります。
従来の光源(水銀ランプ、メタルハライドランプなど)では、寿命が数100〜3000時間程度とされています。また、こうした光源は電気代の消費量も多いため、負担になります。
ALE/1ではランプではなく、LEDを用いているため、従来光源の欠点である2つのコスト

  1. 2ヶ月程度で交換の必要があるランプ
  2. ランプの消費する電力

を抑制できる可能性があります。
ALE/1は、ランプに比べ寿命が長いことが特徴です。
これにより光源購入のランニングコストが抑制されます。

ランニングコストで逆転(コストパフォーマンスイメージ)
ランニングコストで逆転

さらに、電力の消費も従来光源の数分の一に抑えられます。
こちらに関しては、条件によって変動するため具体的な数値は出せませんが、ランプよりは抑えられる可能性が高いです。 また、ランプ光源より長寿命のLEDを採用することで、製造ラインを容易に止められない場合においても、UV硬化がボトルネックとなるケースを避けられます。

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