ケイエルブイは、ハイパースペクトルカメラ・光学部品・光源など
ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED紫外線光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。
ALE/1は、多くの半導体製造プロセス、FPD、印刷、3Dプリンタ等の生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能な紫外線照射装置です。 また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を10msecまで短縮できます。ご使用の製造装置に含まれるどの機器ともシームレスに通信できるように、様々な種類の通信インターフェースを用意しています。
価格のお問い合わせ、お見積り等、お気軽にご相談ください。
| ALE/1.1 | ALE/1.2 | ALE/1.3 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 主な用途 | フォトリソグラフィ | 3Dプリンティング | 3Dプリンティング | 3Dプリンティング ＵＶ硬化 |
フォトリソグラフィ |
| スペクトル | 単色 | 単色 | 多色 | 多色 | 多色 |
| LEDの数 | 1 | 1 | 2 | 3 | 3 |
| LEDの出力波長 | 365nm(i線) or 405nm(h線) or 435nm(g線） |
365nm or 385nm or 405nm |
385nm, 405nm |
365nm, 385nm, 405nm |
365nm(i線), 405nm(h線), 435nm(g線） |
| 全放射出力* | 最大17W | 最大20W | 最大24W | 最大28W | |
| 出力強度* | 最大35W/cm2 | 最大40W/cm2 | 最大50W/cm2 | 最大55W/cm2 | |
| 開口数 | 0.6/70°（2α） | ||||
| ライトガイド オプション |
コア径：φ6.5mm/φ8ｍｍ 分岐：分岐なし/分岐あり（multi pole) 長さ：1.5ｍ（標準）/カスタマイズ可 |
||||
| 通信インター フェース |
タッチディスプレイ、AUX、USB、PLC、およびフィールドバス（例：CANopen） | ||||
| 熱管理 | 内部水冷式 | ||||
| 寸法（WHD） | 28x23x40cm（11.0″×9.1″×15.7″） | ||||
| 重量 | 14.0kg（30.9lbs） | ||||
| 電源入力 | 110～240VAC/50-60Hz/1,000W | ||||
＊ライトガイド（直径8mm、長さ1.5m）の出射端で測定／±10％ deviation possible
高輝度UV放射のコンパクトな統合のための様々なオプション（ライトガイド、レンズ光学系など）。
UV-LED照射器ALE/1の最大のメリットはランニングコストを抑えられることです。
ランニングコストを抑制できる理由は、LEDを用いているという点にあります。
従来の光源（水銀ランプ、メタルハライドランプなど）では、寿命が数100〜3000時間程度とされています。また、こうした光源は電気代の消費量も多いため、負担になります。
ALE/1ではランプではなく、LEDを用いているため、従来光源の欠点である2つのコスト
を抑制できる可能性があります。
ALE/1は、ランプに比べ寿命が長いことが特徴です。
これにより光源購入のランニングコストが抑制されます。
さらに、電力の消費も従来光源の数分の一に抑えられます。
こちらに関しては、条件によって変動するため具体的な数値は出せませんが、ランプよりは抑えられる可能性が高いです。 また、ランプ光源より長寿命のLEDを採用することで、製造ラインを容易に止められない場合においても、UV硬化がボトルネックとなるケースを避けられます。
