UV-LED照射器 ALE/1

製品の特徴

• ハイパワーＵＶ出力:最大30W
• 水銀不使用
• LEDで高安定、ランニングコスト削減
• 内蔵するLEDを選択可能
• 365nm/385nm/405nm/435nm
  (オプションでVIS（470、520、620、660、690nm）、
  　NIR（730、770、810、850、970nm）など幅広い波長領域からLEDを選択できます。）
• 閉ループ制御による出力
• 外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

価格のお問い合わせ、お見積り等、お気軽にご相談ください。

　

製品情報

モデル一覧

• ALE/1.1
• ALE/1.2
• ALE/1.3

仕様

	ALE/1.1		ALE/1.2	ALE/1.3
主な用途	フォトリソグラフィ	3Dプリンティング	3Dプリンティング	3Dプリンティング ＵＶ硬化	フォトリソグラフィ
スペクトル	単色	単色	多色	多色	多色
LEDの数	1	1	2	3	3
LEDの出力波長	365nm(i線) or 405nm(h線) or 435nm(g線）	365nm or 385nm or 405nm	385nm, 405nm	365nm, 385nm, 405nm	365nm(i線), 405nm(h線), 435nm(g線）
全放射出力*	最大17W		最大20W	最大24W	最大28W
出力強度*	最大35W/cm2		最大40W/cm2	最大50W/cm2	最大55W/cm2
開口数	0.6/70°（2α）
ライトガイド オプション	コア径：φ6.5mm/φ8ｍｍ　分岐：分岐なし/分岐あり（multi pole)　 長さ：1.5ｍ（標準）/カスタマイズ可
通信インター フェース	タッチディスプレイ、AUX、USB、PLC、およびフィールドバス（例：CANopen）
熱管理	内部水冷式
寸法（WHD）	28x23x40cm（11.0″×9.1″×15.7″）
重量	14.0kg（30.9lbs）
電源入力	110～240VAC/50-60Hz/1,000W

＊ライトガイド（直径8mm、長さ1.5m）の出射端で測定／±10％ deviation possible

アプリケーション

• ライフサイエンス
• フォトリソグラフィ
• カメラレンズの接着
• 検査装置
• 産業用3Dプリンター
• 電子部品、自動車パーツのUV硬化/コーティング
• 電子部品の印字硬化
• フィルムディスプレイの仮止め
• 注射針の接着
• UV接着
• 励起用照明
• 検査用照明
• UV乾燥
• ラベルのインク硬化

技術情報

半導体露光における構成比較（従来光源と当製品）

水銀ランプを使用した場合の従来構成

ALE/1を使用した場合の構成

強力発光を機器に簡単に組み込む

高輝度UV放射のコンパクトな統合のための様々なオプション（ライトガイド、レンズ光学系など）。

• 面発光も可能です。
• 他の硬化装置（UVコンベヤードライヤーなど）を使う必要性はありません。
• （塗布装置内で）塗布後すぐに硬化することで、スペースの節約や時間短縮へと繋がります。
• 小さな面積をより抜き、硬化することができます。
• マルチスペクトル発光により、異なる接着剤を用いた場合でも、一度に硬化できます。

ALE/1のメリット

UV-LED照射器ALE/1の最大のメリットはランニングコストを抑えられることです。
ランニングコストを抑制できる理由は、LEDを用いているという点にあります。
従来の光源（水銀ランプ、メタルハライドランプなど）では、寿命が数100〜3000時間程度とされています。また、こうした光源は電気代の消費量も多いため、負担になります。
ALE/1ではランプではなく、LEDを用いているため、従来光源の欠点である2つのコスト

1. 2ヶ月程度で交換の必要があるランプ
2. ランプの消費する電力

を抑制できる可能性があります。
ALE/1は、ランプに比べ寿命が長いことが特徴です。
これにより光源購入のランニングコストが抑制されます。

ランニングコストで逆転（コストパフォーマンスイメージ）

さらに、電力の消費も従来光源の数分の一に抑えられます。
こちらに関しては、条件によって変動するため具体的な数値は出せませんが、ランプよりは抑えられる可能性が高いです。 また、ランプ光源より長寿命のLEDを採用することで、製造ラインを容易に止められない場合においても、UV硬化がボトルネックとなるケースを避けられます。

漫画で分かる!ハイパワーUV-LED照射器ALE/1_半導体検査装置編

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