半導体業界における光学機器の活躍

半導体業界（半導体製造工程）において、紫外線光源は非常に重要な役割を果たしています。
ここでは半導体業界向けにご用意している弊社の製品と、その対応工程についてご紹介致します。

前工程と対応製品

半導体業界において光学は非常に重要度の高い分野と言えます。
ウェーハを加工して行く前工程においては、フォトリソグラフィでのUV光源が利用されています。

UV-LED照射器 ALE/1

• フォトリソグラフィ工程におけるUV光源として

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レーザー励起白色光源 XWS-65

• フォトリソグラフィ工程におけるUV-C光源として
• DUV（深紫外）で高出力なため、ウェーハ洗浄における有機物除去にも。
• エリプソメータ

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ハイパースペクトルカメラ Pika

• 膜厚測定

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超小型カメラモジュール

• 前行程における各種行程でのモニタリング用途に。
• 超小型のため、後付けでも装置に組み込むことで、無止まり向上などの活動に活かせます。

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後工程と対応製品

後工程においても光学分野は密接です。

UV-LED照射器 ALE/1

• マーキング（印字）UVインクによる印字のための迅速な紫外線硬化を提供。

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超小型カメラモジュール

• 既存ファブにおける後付け組込、製造プロセスの監視、調査・検査用途に。
• 超小型かつ筐体素材を選択出来るため、半導体製造装置への組込も。

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業界情報

半導体業界では技術の進歩が早く、技術開発の競争も激しい世界です。
弊社では半導体業界のお客様に向け、最先端の光学技術を用いた製品をご提供しております。