ケイエルブイは、ハイパースペクトルカメラ・光学部品・光源など
世界中の光学機器を取り扱う専門商社です。

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半導体業界における光学機器の活躍

半導体業界(半導体製造工程)において、紫外線光源は非常に重要な役割を果たしています。
ここでは半導体業界向けにご用意している弊社の製品と、その対応工程についてご紹介致します。

前工程と対応製品

半導体前工程

半導体業界において光学は非常に重要度の高い分野と言えます。
ウェーハを加工して行く前工程においては、フォトリソグラフィでのUV光源が利用されています。

UV-LED照射器 ALE/1

UV-LED照射器 ALE/1

  • フォトリソグラフィ工程におけるUV光源として

製品詳細
レーザー励起白色光源 XWS-65

レーザー励起白色光源 XWS-65

  • フォトリソグラフィ工程におけるUV-C光源として
  • DUV(深紫外)で高出力なため、ウェーハ洗浄における有機物除去にも。
  • エリプソメータ

製品詳細
ハイパースペクトルカメラPika

ハイパースペクトルカメラ Pika

  • 膜厚測定

製品詳細
ガス分析計

ガス分析計

  • SF6ガス測定

製品詳細
超小型カメラモジュール

超小型カメラモジュール

  • 前行程における各種行程でのモニタリング用途に。
  • 超小型のため、後付けでも装置に組み込むことで、無止まり向上などの活動に活かせます。

製品詳細

後工程と対応製品

半導体後工程

後工程においても光学分野は密接です。

UV-LED照射器 ALE/1

UV-LED照射器 ALE/1

  • マーキング(印字)UVインクによる印字のための迅速な紫外線硬化を提供。

製品詳細
超小型カメラモジュール

超小型カメラモジュール

  • 既存ファブにおける後付け組込、製造プロセスの監視、調査・検査用途に。
  • 超小型かつ筐体素材を選択出来るため、半導体製造装置への組込も。

製品詳細

業界情報

半導体業界では技術の進歩が早く、技術開発の競争も激しい世界です。
弊社では半導体業界のお客様に向け、最先端の光学技術を用いた製品をご提供しております。

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