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レーザー励起白色光源 XWS-65(標準)

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レーザー励起白色光源 XWS-65(標準)

ISTEQ

高輝度・広帯域(UVC~NIR)・長寿命の汎用白色光源

レーザー励起白色光源XWSは、レーザーからの連続するエネルギー入力と、使用される媒体との間の相互作用(光放電)により点発光するプラズマによって光が作り出されます。
UVC(深紫外)からNIR(近赤外)までの幅広い波長の光を高輝度で得られる光源です。従来のガス放電灯(水銀ランプ、重水素ランプ、タングステン、キセノンランプなど)およびLED に代わるものとして開発されました。これらと比較すると、XWS光源は高輝度で幅広い波長範囲(190~2500nm)の出力が可能です。
スペクトル図を見て頂けるとわかりますが、波長域毎に大きな山や輝線が無く、安定した連続スペクトルが出力されます。
そのため、目視では白色となる使いやすい光源です。

動作原理

XWS光源の動作は、高圧キセノンガス中の光放電の現象に基づいています。最初のプラズマは、キセノン中の高電圧放電により作り出されます。
キセノンのプラズマ状態は、集光型連続レーザー放射によって維持されます。

(特許番号:JP 6885636 B1

従来ランプ光源との比較

従来型のキセノン光源(キセノンアーク灯)と比較すると、空間的かつ時間的に高安定性で、発光点が小さく、高輝度長寿命となります。

白色光源の原理と製品

製品の特徴

  • 広帯域の波長範囲を出力。190nm-2500nmまでブロードな光が得られます。
  • 高い安定性
  • ランプおよび電極の磨耗が少なく、長寿命
  • 極小サイズの点発光
  • 深紫外タイプなら190nmも高輝度

当白色光源のコンセプト

白色光源のスペクトルは、幅広い波長域の光がブロードに拡がって混ざることにより白い光を実現しています。そのブロードな性質を活かして、分光器、高分解能顕微鏡、フィルム測定、表面計測のための光源など、様々なシーンで使用されることを想定し開発されております。広帯域・高輝度・長寿命が特徴です。
従来の水銀ランプ、ハロゲンランプ、キセノンアーク灯、重水素ランプの代替として活用されております。

レーザー励起白色光源の価格、仕様、ご不明点はお気軽にお問い合わせください。

分光器ページ

製品情報

モデル一覧

  • UV:190~2500nm
  • OFR(オゾンフリー):250~2500 nm

仕様

品番 XWS-65 XWS-65 DP(*1) XWS-R(*2)
波長範囲 UV 190~2500nm
OFR 250~2500nm
輝度
[mW/(mm2*sr*nm)]
(350-550nm)
UV 最小:47
平均:58
最大:67
最小:84
平均:100
最大:112
OFR 最小:37
平均:51
最大:60
最小:75
平均:88
最大:102
出力パワー
(free space)
NA 0.4
UV 最大2.1 W 最大3.2W
OFR 最大1.3 W 最大2.3W
出力パワー
(free space)
NA 0.5
UV 最大3.4 W 最大5.1 W
OFR 最大2.1 W 最大3.7 W
発光体サイズ
(FWHM)[μm]
(avg. at 425nm)
UV 165×360 175×415
OFR 170×360 170×365
寿命 10,000時間
時間的・空間的
安定性
STD < 0.15 %
ランプ媒体 キセノン
出力 N.A. 0.4 (default) or 0.5
光学系接続 Cマウント,
30mm光学ケージ-default NAのみ
光出力構成 UV フリースペース,
or ファイバー
フリースペース
OFR フリースペース,
or ファイバー
フリースペース
外部制御 RJ45 (Ethernet, Web interface),
COM-port (RS-232)
光源ヘッド
寸法[mm]
UV 130×122×106 130×113×106 142×130×106
OFR 130×122×106 130×113×106 142×130×106
電源寸法[mm] 351×175×232
液体
冷却ユニット寸法[mm]
350×166×184
電源仕様 100 - 240 V, 50/60 Hz

(*1)DP:Dual Port
(*2)R:Reflector


オプション

品番 XWS-65 XWS-65 DP(*1) XWS-R(*2)
光源ヘッドの水冷
オプション
水冷
光源ヘッド寸法[mm]
UV 130×113×106 130×113×132 152×138×106
OFR 130×113×106 130×113×132 152×138×106
ファイバーカップリング
オプション
UV
OFR
600μmファイバーでの出力 UV 最小:390mW
平均:450mW
最大:510mW
OFR 最小:390mW
平均:450mW
最大:510mW
ファイバー接続 UV SMA
OFR SMA
ファイバーカップリング
光源ヘッド寸法[mm]
UV 130×122×155
OFR 130×122×114 130×113×121

(*1)DP:Dual Port
(*2)R:Reflector


デュアルポートヘッド(オプション)

XWS-65はデュアルポート(DP)のヘッドを選択することができます。
デュアルポートヘッドは、発光部の前後の光を取り出すことができるヘッドで、各ポートから出力される光の特性は、シングルポートヘッドと同じです。 ファイバーカップリングユニットを使用することも可能ですので、XWS-65の光を複数の箇所で使用する場合などに有効です。

デュアルポート
(フリー出力)
デュアルポート
(ファイバーカップリング)
分光器ページ

アプリケーション

技術情報

紫外線および可視光領域でのXWS-65光源のスペクトル輝度

レーザー励起白色光源スペクトルXWS-65

FAQ

Q1

ファイバーカップリング出来ますか?

A.

可能です。アーク放電ではないため、発光点の位置ずれが少なく、安定していることから細径のファイバーへの導光効率が高いです。
接続するユニットはオリジナルのものをご用意しております。

Q2

平行光は出せますか?

A.

可能です。Cマウントのねじ切りがされているので、ファイバーカップリングせず直接レンズを取り付けて頂けます。

  
Q3

OEM、組み込みでのカスタム対応は可能ですか?

A.

可能です。お客様のご要望に応じてレーザー電源の冷却方式の選択(空冷or水冷)、光源ヘッド部の複数ポート化等にも対応できます。

  
Q4

主なアプリケーションは何ですか?

A.

半導体ウエハーのアライメント照明、ウエハーの膜厚測定、表面トポロジーの解析、分光分析、通信用ファイバーの損失率検査等になります。

Q5

デモ機の貸し出しは可能ですか?

A.

可能です。XWS-65に関しては全ての構成でのお貸出しが可能です。ご希望の方はお気軽にお声がけください。

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レーザー励起白色光源 XWS

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メーカー名

展示会情報

XWSシリーズ

用途例

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