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ISTEQ

ISTEQ

ISTEQ社は、レーザー励起による高輝度 広帯域プラズマ光源の製造メーカーです。長寿命で発光点が小さく、深紫外から近赤外の広い波長域を連続スペクトルで出力できるため、分光分析やウエハ検査、高解像度の顕微検査など様々な用途に対応できる光源です。

ISTEQの製品一覧

レーザー励起白色光源 XWS-30

レーザー励起白色光源 XWS-30

デモ機あり注目の製品光源

小型/コンパクト・高輝度・広帯域(UVC~NIR)・長寿命の汎用白色光源

レーザー励起白色光源XWSは、レーザーからの連続するエネルギー入力と、使用される媒体との間の相互作用(光放電)により点発光するプラズマによって光が作り出します。 XWS-30は、レーザー等を発光部内に格納しており、ドライバユニットなし(発光部のみ)で動作します。 XWS-65同様に、幅広い波長範囲(190~2500nm)での高輝度光を実現しながら、非常にコンパクトな筐体を実現したため、装置への組み込み等に最適です。 動作原理 XWS光源の動作は、高圧キセノンガス中の光放電の現象に基づいています。最初のプラズマは、キセノン中の高電圧放電により作り出されます。 キセノンのプラズマ状態は、集光型連続レーザー放射によって維持されます。 従来ランプ光源との比較 従来型のキセノン光源(キセノンアーク灯)と比較すると、空間的かつ時間的に高安定性で、発光点が小さく、高輝度長寿命となります。

S100分光器

S100分光器

S100分光器は広帯域190~1100nmで測定可能な小型分光器です。

S100は独自の凹面回折格子の使用により、非常に広い190~1100nmのスペクトル範囲で1nmの高分解能を実現した他に類のない装置です。S100分光器は絶対強度校正を行うことが可能で、可動部品を使用していません。またUSBからコンピュータ制御と電力供給を受けるため、とても使いやすい設計になっています。

XUV-VUV  分光器AGS

XUV-VUV 分光器AGS

AGSは広いスペクトル範囲が1回の計測で記録できるように設計された、小型で軽量な分光器です。 この分光器は、短パルスレーザー実験の研究および特性解明のために特別に開発されました。 絶対強度およびスペクトルの校正によって、レーザーベースのXUV-VUV線源(DPPおよびLPP線源)、およびプラズマ表面やガス状媒体からの高次高調波発生等から放出されたフォトン数を特定できます。

VUV-QFF  分光器

VUV-QFF 分光器

VUV-QFF分光器は3個1組の回折格子を使用することで、5~150nmの広いVUV範囲での測定を実現しています。カスタマイズしたoff-Rowland光学スキームにより、範囲全体で高分解能を実現しています。これにより、本製品は極端紫外線および軟X線の範囲での高分解能スペクトル測定に不可欠で強力な計測器となりました。

MCP検出器

MCP検出器

マイクロチャネルプレート(MCP:Microchannelplate)検出器は、X線およびVUVスペクトル範囲内のパルスプラズマ線源の時間分解イメージ作成またはスペクトル記録用に特別に設計されています。

MCPの感光部分は、複数の領域に分割されます。 各感光領域は、異なる遅延時間で独立にゲート制御されます。 この機能によって、ユーザーは、個々の時間でスペクトルまたはプラズマの複数の画像を取得できます。 またこれらの検出器を非常に多用途の装置として使用できます。 各カメラには、カメラのゲート制御に必要な、特殊な高圧パルスジェネレータが付属しています。

EUVハイパスフィルタ

EUVハイパスフィルタ

特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。 フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。 また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。

レーザー励起白色光源 XWS-65/XWS-X

レーザー励起白色光源 XWS-65/XWS-X

光源デモ機あり

高輝度・広帯域(UVC~NIR)・長寿命の汎用白色光源

レーザー励起白色光源XWSは、レーザーからの連続するエネルギー入力と、使用される媒体との間の相互作用(光放電)により点発光するプラズマによって光が作り出されます。 UVC(深紫外)からNIR(近赤外)までの幅広い波長の光を高輝度で得られる光源です。従来のガス放電灯(水銀ランプ、重水素ランプ、タングステン、キセノンランプなど)およびLED に代わるものとして開発されました。これらと比較すると、XWS光源は高輝度で幅広い波長範囲(190~2500nm)の出力が可能です。 スペクトル図を見て頂けるとわかりますが、波長域毎に大きな山や輝線が無く、安定した連続スペクトルが出力されます。 そのため、目視では白色となる使いやすい光源です。 動作原理 XWS光源の動作は、高圧キセノンガス中の光放電の現象に基づいています。最初のプラズマは、キセノン中の高電圧放電により作り出されます。 キセノンのプラズマ状態は、集光型連続レーザー放射によって維持されます。 従来ランプ光源との比較 従来型のキセノン光源(キセノンアーク灯)と比較すると、空間的かつ時間的に高安定性で、発光点が小さく、高輝度長寿命となります。

波長可変光源 XWS-M

波長可変光源 XWS-M

光源

XWS-Mは190~2500nmの波長範囲で出力波長を調整可能な光源装置です。 光源にIsteq社製の高輝度、高安定のプラズマ光源を使用することにより狭帯域選択でミリワットレベルの高出力を実現します。