高輝度、低デブリEUV光源
EUV光源TEUSは回転式金属ターゲットを使用しています。従来の液的ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。
詳細は、
ISTEQ社 プラズマEUV光源TEUS
EUV光源 回転ターゲットによる高輝度・低デブリの実現
をご確認ください
03-3258-1238
お問い合わせEUV光源TEUSは回転式金属ターゲットを使用しています。従来の液的ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。
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TEUS光源装置 | TEUS-S100 | TEUS-S200 | TEUS-S400 |
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主な仕様 | |||
レーザー出力 | 100W | 200W | 400W |
最高繰り返し周波数 | 25kHz | 50kHz | 100kHz |
集光可能なEUV光の立体角 | 0.05sr | 0.05sr | 0.05sr |
変換効率 (in-band 13.5 nm±1%) | 2% @2π·sr | 2% @2π·sr | 2% @2π·sr |
EUV出力 (in-band 13.5nm±1%) | 8.5mW | 17mW | 34mW |
EUV輝度 (in-band 13.5nm±1%) | 90W/mm2·sr | 180W/mm2·sr | 360W/mm2·sr |
プラズマサイズ* | 60um | 60um | 60um |
プラズマ安定性** | 3% RMS | 3% RMS | 3% RMS |
寿命とメンテナンス | |||
メンブレン不使用の場合のコレクターレンズの寿命 (10%の透過率減衰) (24時間駆動) | 12か月以上 | 6か月以上 | 3か月以上 |
メンブレン使用の場合のコレクターレンズの寿命 (10%の透過率減衰) (24時間駆動) | 24か月以上 | 12か月以上 | 6か月以上 |
8か月ごとのメンテナンス時間 (24時間駆動) | 8時間 | 8時間 | 8時間 |
連続駆動時間*** (24時間駆動) | 4か月 | 3か月 | 2か月 |
電源、システム寸法、重量 | |||
電源 | 6.5kW | 8.5kW | 10.5kW |
寸法 (L×W×H) | 1400×1000×1200mm | 1400×1000×1300mm | 1400×1000×1400mm |
レーザーを含む重量 | 770Kg | 770Kg | 770Kg |
施設必要事項 | |||
使用環境のクリーン度 | ISO7 | ISO7 | ISO7 |
水冷 | 10L/min | 15L/min | 25L/min |
*:1/e2
**:レーザーの安定性に依る。
***:メンブレン交換のために2週間に1度、5分間EUV光を停止した場合
フルバンド(13.5nm±2%)の変換効率は4%@2π、2倍の輝度となります。