ケイエルブイは、ハイパースペクトルカメラ・光学部品・光源など世界中の光学機器を取り扱う専門商社です。

03-3258-1238

お問い合わせ

EUV光源 TEUS

EUV光源 TEUS

EUV光源 TEUS
EUV光源 TEUS
ISTEQ

高輝度、低デブリEUV光源

EUV光源TEUSは回転式金属ターゲットを使用しています。従来の液的ターゲットと異なりプラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。

詳細は、
ISTEQ社 プラズマEUV光源TEUS
 EUV光源 回転ターゲットによる高輝度・低デブリの実現
をご確認ください

製品の特徴

  • 飛散デブリの光学系への付着を低減
  • ターゲットの高速回転により安定したターゲット面を実現

製品情報

仕様

TEUS光源装置 TEUS-S100 TEUS-S200 TEUS-S400
主な仕様
レーザー出力 100W 200W 400W
最高繰り返し周波数 25kHz 50kHz 100kHz
集光可能なEUV光の立体角 0.05sr 0.05sr 0.05sr
変換効率
(in-band 13.5 nm±1%)
2% @2π·sr 2% @2π·sr 2% @2π·sr
EUV出力
(in-band 13.5nm±1%)
8.5mW 17mW 34mW
EUV輝度
(in-band 13.5nm±1%)
90W/mm2·sr 180W/mm2·sr 360W/mm2·sr
プラズマサイズ* 60um 60um 60um
プラズマ安定性** 3% RMS 3% RMS 3% RMS
寿命とメンテナンス
メンブレン不使用の場合のコレクターレンズの寿命
(10%の透過率減衰)
(24時間駆動)
12か月以上 6か月以上 3か月以上
メンブレン使用の場合のコレクターレンズの寿命
(10%の透過率減衰)
(24時間駆動)
24か月以上 12か月以上 6か月以上
8か月ごとのメンテナンス時間
(24時間駆動)
8時間 8時間 8時間
連続駆動時間***
(24時間駆動)
4か月 3か月 2か月
電源、システム寸法、重量
電源 6.5kW 8.5kW 10.5kW
寸法
(L×W×H)
1400×1000×1200mm 1400×1000×1300mm 1400×1000×1400mm
レーザーを含む重量 770Kg 770Kg 770Kg
施設必要事項
使用環境のクリーン度 ISO7 ISO7 ISO7
水冷 10L/min 15L/min 25L/min

*:1/e2
**:レーザーの安定性に依る。
***:メンブレン交換のために2週間に1度、5分間EUV光を停止した場合
フルバンド(13.5nm±2%)の変換効率は4%@2π、2倍の輝度となります。

アプリケーション

  • EUVマスクブランクスの研究
  • EUV用光学部品の研究、検査

技術情報

EUV光源TEUSの構造と特性

EUV光源TEUS内部構成1
 
回転ターゲットによりデブリの飛散を低減します。
EUV光源TEUS内部構成2
左:従来、右:TEUS
高速回転によりデブリの飛散方向をずらします。
EUV光源TEUS内部構成3
左:40Hz、右:200Hz
回転スピードによるデブリの付着の違い

分光器ページ

お問い合わせ

  • 性能、コスト、納期を満たす光学機器をお探しですか?
  • 製品のデモ実演をご希望ですか?
  • 製品に関する詳しい資料をご希望ですか?
  • 標準仕様以外の特殊用途への対応をご希望ですか?