EUV光源

EUV光源　TEUS

EUV

高輝度、低デブリを実現したLPP-EUV光源

ターゲットの高速回転により安定したターゲット面を実現した、EUV光源です。プラズマ発生時に飛散するデブリの光学系への付着を防ぐことができます。