ISTEQ社
高速回転リチウムターゲットによるLPP-EUV光源 「LEUS」
ISTEQ社 LPP-EUV光源 LEUS製品 発表資料
2024年オランダのアムステルダムで開催されたSource WorkshopでISTEQ社が発表したLPP-EUV光源の資料です。
このポスター発表では、高輝度・低デブリ、スタンドアロン設計であることを特徴とするISTEQ社のLPP-EUV光源の新製品「LEUS（Lithium Extreme Ultraviolet Source）」について紹介しています。
(ダウンロード資料は英語版となっております。)
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