深紫外でのハイパワーを活かして
装置における深紫外線光源としてご利用いただけます。 一般的に高出力が難しい深紫外域においても安定した出力が得られる当光源で、通常の露光装置からミニマルファブ用途までご検討ください。
レーザー励起白色光源 XWS-65(標準)製品詳細レーザー励起白色光源 XWS-65(標準)用途例
半導体製造装置におけるUV-C光源
半導体・電子デバイス製造工程での品質管理に
安定した出力と強度を持つ当光源を用いて、シリコンウエーハの付着物・汚染・コンタミの検査等、UV-C光を用いたいシーンでご活用頂けます。
関連製品情報
レーザー励起白色光源 XWS-65(標準)
高輝度・高安定・点発光の白色光源。半導体ウエハーのアライメント照明、膜厚測定、表面トポロジーの解析、分光分析等の、幅広い用途で多くのお客様に選ばれています。
製品ページ
