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レーザー励起白色光源 XWS-65/XWS-X用途例

半導体製造装置におけるUV-C光源

半導体製造装置におけるUV-C光源

深紫外でのハイパワーを活かして

装置における深紫外線光源としてご利用いただけます。 一般的に高出力が難しい深紫外域においても安定した出力が得られる当光源で、通常の露光装置からミニマルファブ用途までご検討ください。

レーザー励起白色光源 XWS-65/XWS-X製品詳細

半導体・電子デバイス製造工程での品質管理に

安定した出力と強度を持つ当光源を用いて、シリコンウエーハの付着物・汚染・コンタミの検査等、UV-C光を用いたいシーンでご活用頂けます。

レーザー励起白色光源 XWS-65/XWS-X他の用途例