UV照射器(LED) ALE/1用途例
ウェーハ周辺露光（WEE) 用UV-LED 光源

高性能UV-LED技術で周辺露光プロセスをアップグレード

ウェーハ周辺露光（WEE）は、大量生産される半導体製造において一般的な工程です。WEEは、ウェーハステッパーなどのリソグラフィーツールを使用して露光した後、ウェーハのラウンドエッジとID領域を処理します。工場ではこの高強度露光を生産ラインに追加して、ウェーハからの半導体デバイスの歩留まりを向上させます。ウェーハ周辺露光は、ウェーハエッジでの露光幅を絶対的に最小にすることができ、歩留まりの低下を最小限に抑えたり（ポジ型レジスト）、処理中のコンタミネーションからエッジを保護します（ネガ型レジスト）。

多くのWEEアプリケーションでは、350～450 nmの広帯域放射が使用されており、その最も一般的なソリューションは、定格出力150～500 Wの水銀放電ランプによるファイバー結合型の光源でした。
WEEは広帯域の波長範囲（350～450 nm）の露光を必要とするため、これらのシステムセットアップに代わる、より経済的で信頼性の高いものを見つけるのは今までは困難でしたが、Primelite社のファイバー結合型LED光源装置は、従来の水銀放電ランプに代わるソリューションを提供することが可能です。

UV照射器(LED) ALE/1製品詳細

「ALE/1」および「ALE/3」は、フレキシブルで高い透過率を持つライトガイドを介して広帯域の波長範囲の光出力ができるように設計されたLED光源装置です。両システムは、従来の水銀放電ランプの波長範囲をカバーし、ウェーハ周辺露光プロセスで要求される一般的な強度を容易に上回ることができます。

UV-LED照明装置を周辺露光装置に統合

周辺露光（WEE）装置は、スタンドアロンユニットとして半導体ウェーハトラックに接続することも、ステッパー装置に直接統合することもできます。
WEEのハードウェアは、スキャナー、スピニングデバイス、ウェーハエッジを露光するための光学系を備えた強力なスポット光源で構成されています。
Primelite社の「ALE/1」、「ALE/3」は、高出力、高安定のスポット照射が可能なファイバー結合型のUV-LED光源で、ウェーハ周辺露光のセットアップに最適です。

ALE/1

「ALE/1」を使用したウェーハ周辺露光（WEE）のセットアップ

ALE/3

「ALE/3」を使用したウェーハ周辺露光（WEE）のセットアップ

Primelite社のLED照射装置は、水銀放電ランプに類似した出力スペクトルを持ち、ウェーハエッジの広帯域露光用にi 線、h 線、g 線をカバーする唯一の半導体向けのLED露光ソリューションです。高精度の露光結果を保証できるよう、精密に制御された出力を提供します。既存のWEEプロセッサーの従来型のランプ技術からの置き換えにも適しており、お客様の装置の日々の稼働効率を高めることも可能です。

Primelite社のLED照射装置によるメリット

光源にLEDを採用。水銀放電ランプより光源の寿命が長いため、光源の交換による装置のダウンタイムを削減。
内蔵しているLEDはモジュールになっているため、交換が簡単。
現場でのメンテナンスを迅速かつ容易に行うことが可能。

従来の水銀放電ランプとの比較

スペクトル特性

広帯域・高出力

ALE/1.3（CWL：365 / 405 / 436 nm）と水銀放電ランプ200Wとの出力特性比較

上記のグラフより、Primelite社の広帯域UV-LED光源と従来の水銀放電技術によるソリューションを比較すると、波長のマッチングは優れている一方で、出力性能（強度）には大きな隔たりがあり、200Wの一般的な水銀放電ランプよりもPrimelite社のLED照射装置の方が高出力であることがわかります。

また、Primelite社のUV-LED照射装置は、i 線、h 線、g 線（中心波長（CWL）：365nm、405nm、436nm 付近の波長範囲）を個別に設定して駆動させることも、必要な最大出力のためにそれらをまとめて使用することもできます。露光はミリ秒単位の切り替え時間で正確に制御することが可能であり、長期にわたって安定しています。

多くのフォトリソグラフィアプリケーションは、i 線、h 線、ｇ線（中心波長（CWL）： 365 nm/405nm / 436nm）放射を含む広帯域露光に依存しています。当社のUV-LED露光システムは、水銀放電ランプと同様のスペクトル出力を提供するため、UV-LED露光へのフォトリソグラフィープロセスのアップグレードは最小限の適応で済みます。
さらに、中心波長が2 種類（365nm / 405nm または405nm / 436nm）のセットアップも可能で、お客様のアプリケーションに柔軟に対応できます。

出力性能

出力パワー [mW]^※1		広帯域（350~450 nm)	i 線（355~385 nm）
Primelite社製 LED照射装置	ALE/1.3 (CWL 365 / 405 / 436 nm)^※2	30,000	10,000
Primelite社製 LED照射装置	ALE/3.2^※2	13,000	6,500
水銀放電ランプ（typical values）	200 W	7,500	3,000