UV照射器(LED) ALE/1用途例
UV-LEDによるフラッド露光

マスクアライナーやステッパーは、複雑な集積回路、化合物半導体、その他のマイクロエレクトロニクスを製造するために、正確に配置され構造化されたパターンを何層にも重ねて形成します。多くのUV硬化のアプリケーションでは、半導体製造と同程度の精密な露光が求められますが、微細構造の層を綿密に整列させた複数のリソグラフィ工程は必要ありません。

スマートフォンやタブレットのディスプレイ製造における周辺露光
印刷業界向けの安全機能
バイオテクノロジー分野のマイクロ流体アプリケーション

Primelite社のUV-LED照射装置は、平行光（コリメート光）が使用されている上記のアプリケーションに組み込むことが可能です。平行光をほとんど、あるいは全く必要としないUV-LEDフラッド露光においてもご使用いただけます。その典型的な使用例としては、定義された表面全体にわたって均一性が求められる「UV硬化」が挙げられます。

UV照射器(LED) ALE/1製品詳細

Primelite社のUV-LED技術によるソリューション

Primelite社は、UV-LED光源を精密フラッド露光ツールに変えることができるLEDソリューションを提供します。

高精度な照射が可能
多様な用途に対応：平行光を必要とする用途だけでなく、均一性を重視する用途にも対応
柔軟性: ファイバー結合型光源で様々なシステムに組み込みやすい

Primelite社のUV-LED技術をフラッド露光アプリケーションに統合

Primelite社は、お客様の露光要件（出力、スペクトル構成、安定性）に合わせてコンポーネントを選択できるように光源装置、ライトガイド、レンズなどのアクセサリーを用意しております。

光源装置

フラッド露光アプリケーションの光源として、当社のLED光源装置「ALE/1」または「ALE/3」をお選びください。

ALE/1

「ALE/1」は市場で最も高性能なファイバー結合型光源の1 つです。

ALE/3

「ALE/3」はコンパクトでALE1よりも設置面積を抑えることができます。より経済的な選択肢にもなります。

アクセサリー（液体ライトガイド、LEDオプティクス）

光源装置に液体ライトガイドを接続して光源装置からの光を導光します。接続するライトガイドはフレキシブルで透過率が高いため、露光光学系と光源装置の設置の自由度が増します。
さらに、Primelite社ではLEDオプティクスも取り揃えており、お客様の仕様に合った照射を生成するコンポーネントをお選び頂くことが可能です。ニーズに合わせたソリューションを設計することも可能ですので、ラインナップの中で見つからない場合は弊社（ケイエルブイ）までお問い合わせください。

液体ライトガイド

フレキシブルで高い透過率を持つライトガイドでUV-LEDの光を導光します。

オプティクス

照射形状、照射面積、焦点距離など、照射用途に適したオプティクスをお選び頂けます。

出力特性

ALE/1.3（CWL：365 / 405 / 436 nm）のスペクトル特性

広帯域の波長によるUV硬化のメリット

Primelite社のLED照射装置「ALE/1」では、利用可能な波長範囲（中心波長（CWL）： 365、385、405、436 nm）から選択し、出力強度を個別に制御できるため、お客様のUV硬化アプリケーションに最適なスペクトル構成を正確に提供することが可能です。

すべての照射において同じ設定にしたり、出力特性を変化させたり、後続のスペクトルを個別のスペクトル組成で出力するなどの選択ができます。これらの機能により、当社のUV-LEDスポット光源は、様々なUV感光材料を、驚異的な速度と信頼性で処理することが可能です。

カスタマイズ可能な出力スペクトルは、医療や製薬分野における製造装置で水銀放電ランプに代わるUV-LEDソリューションをお探しの場合に特に役立ちます。現在お使いのスポット光源のスペクトルをPrimelite社のLED照射装置で再現することで、従来より使用していた有効なレシピ（スペクトル構成）を使い続けることができます。