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UV照射器(LED) ALE/1用途例

フォトマスク検査

フォトマスク検査

フォトマスク検査におけるUV-LED技術の重要性

フォトリソグラフィー・アプリケーションで高い歩留まりを達成するためには、欠陥のないレチクルやフォトマスクが不可欠です。欠陥やコンタミネーションは、パターン配置エラーを引き起こし、生産基板上で繰り返し再現されてしまうからです。
検査システムは、フォトマスク製造企業や工場がフォトマスクの品質を保証するのに役立ちます。欠陥のあるウェーハやその他の基板を印刷するリスクを軽減することで、歩留まりを守ることができるため、チップメーカーやフラット・パネル・ディスプレイ(FPD)メーカー、PCB メーカーは、これらのシステムを利用して、入荷したレチクルの品質を評価し、生産中に定期的にレチクルを再検査しています。

UV照射器(LED) ALE/1製品詳細

検査システムに統合可能なPrimelite社のUV-LED技術

大型フォトマスクのレチクル検査装置には、Primelite社のLED技術が組み込まれています。
当社のUV-LED技術が選ばれるのには、検査システムの柔軟性や精度の向上に繋がる以下の3つの特長が挙げられます。

UV-LED照射装置

特長1設置の柔軟性

Primelite社の光源装置は「ALE/1」および「ALE/3」は、ファイバー結合型の光源装置です。当社の高い透過率のLED ライトガイドを使用すれば、光源を機械のどこにでも自由に移動させることができます。既存の設備ではライトガイドの長さは20 mにも及びます。

特長2優れた出力スペクトル特性

最先端のOLED FPD は、より優れた解像度を達成するために、より多くのTFT トランジスタを搭載しています。そのため、ハイエンドのフォトマスクは、より小さなフィーチャーサイズを実現する必要があります。これらのレチクルを適切に検査するには、欠陥に対する感度を高める必要があります。照射波長を可視(VIS)から近紫外へとシフトすることで、欠陥検出能力が向上します。Primelite社の光源装置ALEは、350~450nmのスペクトル領域で優れた性能を発揮します。

特長3安定出力

Primelite社のLED露光ソリューションは、短期および長期において出力の安定性に優れており、レチクル検査結果の精度と一貫性を高めます。

他のLED露光システムとの違い

他のLED露光システムが狭帯域の検査光(例えば385 ± 15 nm 程度)を提供するのに対し、当社の先進的なLED システムは、広帯域の出力スペクトルを提供することが可能です。お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。
従来の放電ランプのi線、h線、g線(365 / 405 / 436 nm)に一致する中心波長を補完するために、青色や緑色などのVIS 成分をスペクトル範囲に追加することができます。

水銀放電ランプとの出力比較

ALE/1の出力特性(水銀放電ランプ200Wとの特性比較)(CWL:365nm / 405nm / 436nm)

Primelite 社のALE/1の場合、個別にフィードバック制御された高出力のLED を最大5 個まで1 つの光路に組み合わせることができます。

出力性能比較

出力パワー[mW](※1) 広帯域
(350~450 nm)
i 線
(355~385 nm)
Primelite社製 ALE/1.3
(CWL 365 / 405 / 436 nm)(※2)
30,000 mW 10,000 mW
ALE/3.2
(CWL 365 / 405 nm)(※2)
13,000 mW 6,500 mW
水銀放電ランプ
(typical values)
200 W 7,500 mW 3,000 mW

※1 : Power output measured at end of light guide (active core dia. 6.5 mm, length 1.5 m); deviation of ± 10% possible

※2 : CWL of emitters: 367.5 ± 2.5 nm, 402.5 ± 2.5 nm, and 435.0 ± 2.5 nm


ALE/1

ALE/1""

ALE/1 は高出力、広帯域スペクトルの露光を必要とする場合にベンチマークとなる、ファイバー結合型UV-LEDスポット光源です。

ALE/3

ALE/3

ALE/3は、水銀放電ランプに代わる光源です。コンパクトで、設置面積を抑えることができます。

ライトガイド

ALE2

高い透過率を持つライトガイドがフォトマスク検査のセットアップを改善します。

フォトマスク検査用光源にPrimelite社の「ALE/1」、「ALE/3」が選ばれる理由

  • ファイバー結合型LED光源で、柔軟な設置が可能
  • 高精度、高安定、高出力
  • 単一波長および、紫外から可視域の範囲での広帯域出力が可能
  • UV-LED 技術で長寿命、TCO(総所有コスト)削減
  • 1msecよりも高速の切替えが可能

従来の放電ランプに代わる「高出力・高安定」のLEDソリューション

高解像度のフラット・パネル・ディスプレイ(FPD)は、スマートフォンやタブレット端末などで大きな需要があります。
Primelite社は、大型フォトマスクの欠陥やコンタミネーションを識別する検査ツールに注力しており、従来の水銀放電ランプやキセノン放電ランプに代わる、強力でフレキシブルなLEDソリューションを提供しています。

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