Primelite

UV照射器(LED) ALE/2

光源

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力することが可能となっています。LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/2は半導体ウエハーの露光に特化し、従来の水銀ランプを使用しているシステムへ容易に統合できるように設計されています。また純正の水冷システムをご用意しているためお客様での温度管理システムを必要としません。さらに機械式シャッターも不要なため、露光時間を1msecまで短縮可能で、ON/OFFの切り替えも容易なため水銀ランプのようにウォーミングアップを必要としません。また現在ご使用の製造装置とシームレスに通信できるように様々な種類の通信インターフェースをご用意しています。

UV照射器(LED) ALE/3

デモ機あり

ALE/3は、従来の水銀ランプに代わる高出力のLED紫外線光源装置です。2種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の同時出力が可能です。 複数波長での照射は効率的なUV樹脂、接着剤硬化を実現します。 また、搭載されたLEDモジュールは容易に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/3は樹脂、接着剤硬化および半導体ウェーハの周辺露光、フォトマスク検査、レチクル検査など、水銀放電ランプを使用しているアプリケーションにおいて有効な代替案となります。

UV照射器(LED) 　ALE/1C

最大50W 超高出力のUV-LED照射装置

ALE/1Cは、従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。 システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。 また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。

UV照射器(LED) ALE/1

デモ機あり

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED紫外線光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/1は、多くの半導体製造プロセス、FPD、印刷、3Dプリンタ等の生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能な紫外線照射装置です。 また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を10msecまで短縮できます。ご使用の製造装置に含まれるどの機器ともシームレスに通信できるように、様々な種類の通信インターフェースを用意しています。 ALE/1は他社製のLED光源と異なる方式により高出力を実現しています。 Primeliteが「高出力」な理由

LED照射器 ALE/1（可視光）

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。 最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。 また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/1は、多くのプロセスや生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能です。 また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を10msecまで短縮できます。ご使用の製造装置に含まれるどの機器ともシームレスに通信できるように、様々な種類の通信インターフェースを用意しています。