ALEシリーズ
primlite×LED照射器

UV照射器(LED) ALE/2

光源

UV照射器(LED) ALE/2

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力することが可能となっています。LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

ALE/2は半導体ウエハーの露光に特化し、従来の水銀ランプを使用しているシステムへ容易に統合できるように設計されています。また純正の水冷システムをご用意しているためお客様での温度管理システムを必要としません。さらに機械式シャッターも不要なため、露光時間を1msecまで短縮可能で、ON/OFFの切り替えも容易なため水銀ランプのようにウォーミングアップを必要としません。また現在ご使用の製造装置とシームレスに通信できるように様々な種類の通信インターフェースをご用意しています。

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製品の特徴

超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可)
水銀不使用
LEDで高安定、ランニングコスト削減
内蔵するLEDを選択可能
365nm/385nm/405nm/435nm
フィードバックコントロール制御による出力維持
純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。

価格のお問合せ、お見積り等、お気軽にご相談ください。

製品情報

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モデル一覧

ALE/2.1
ALE/2.2
ALE/2.3
ALE/2.4

仕様

	ALE/2.4(複合波長)	ALE/2.4(単一波長)
主な用途	フォトリソグラフィ
スペクトル	多色	単色
LEDの数	4
LEDの出力波長	365nm(i線), 385nm, 405nm(h線), 435nm(g線),	365nm(i線)×4 or 385nm×4 or 405(h線)nm×4 or 435nm(g線)×4
全放射出力^*	最大80W	最大70W
出力強度	最大500mW/cm²@100×100㎜最大150mW/cm²@200×200㎜
出力オプション	□16×16㎜, 0.60/70°(2α) or ASPφ50㎜, 0.22/24°(2α)
通信インターフェース	USB、PLC、およびフィールドバス（例：CANopen）
熱管理	内部水冷式
寸法（WHD）	ESS: 36 cm X 21 cm X 21 cm CSS (Rack): 44 cm X 18 cm X 37 cm
重量	ESS: 6.5 kg CSS (Rack): 10 kg
電源入力	110～240VAC/50-60Hz/1,500W

ホモジナイザー/コンデンサーレンズ

タイプ	ホモジナイザー	コンデンサーレンズ
サイズ	□16×16㎜	ASP φ50㎜
N.A.	0.6/70°(2α )	0.22/24°(2α)
ARコーティング	R_abs[350－450nm]≤ 1%