ALEシリーズ - ケイエルブイ

ALEシリーズ
Primelite×LED照射器

シリーズ製品一覧

ALE/2

小型タイプ ALE/3

高出力タイプ ALE/1C

標準タイプ ALE/1

LED照射器 ALE/1（可視光）

ALEシリーズはPrimelite社が提供するLED照射器を総称する製品群です。

Primelite（プライムライト）社は、2016年にドイツのミュンヘンにて設立されたLED光源装置のメーカーです。
Primelite社のLED照射器は広い波長域とパワフルな出力（最大50W）が特徴です。
高い性能と出力によって、要求の厳しいアプリケーション - 半導体フォトリソグラフィ、UV硬化、３Dプリンティングにおける使用に対応します。

シリーズ製品比較

タイプ	標準タイプ ALE/1	小型タイプ ALE/3	高出力タイプ ALE/1C
写真
LEDの数	最大５	最大２	最大３
LEDの出力波長	365~970nm	365~436nm	365~970nm
全放射出力	最大30W	最大15W	最大50W
出力強度	最大75W/cm2	最大50W/cm2	最大100W/cm2
開口数	0.6/70°（2α）		可変（光学系に依存）
寸法	28x23x40cm （11.0″×9.1″×15.7″）	14.5×16.5×34cm (5.7″×6.5″×13.4″)	ESS：20 × 13 × 20.5cm　 CSS：20 × 15 × 45cm CSS(Rack)：44 × 18 × 37cm
重量	14.0kg	6kg	ESS：5kg CSS：9Kg CSS(Rack)10kg
製品構成	照射器本体ライトガイド		制御システム（CSS）露光システム(ESS) 光学部品（ライトパイプ、集光光学系、ライトガイド等）

アプリケーション

【半導体】フォトリソグラフィー

シリーズ製品紹介

UV照射器(LED) ALE/2

超ハイパワーUV出力:最大80W(単一波長でも可)
水銀不使用
LEDで高安定、ランニングコスト削減
内蔵するLEDを選択可能
365nm/385nm/405nm/435nm
フィードバックコントロール制御による出力維持
純正の冷却システムを併せてご提供。既存システムへの統合可。

ALE/2は従来の放電ランプを上回る高出力、高安定を実現したLED紫外線光源装置です。最大4波長のLEDを内蔵し、複数波長の出力が可能です。また兄弟機のALE1と大きく異なる点は同一波長のモジュールを複数搭載可能なのでI線もしくはG線のみを高強度で出力することが可能となっています。LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/2は半導体ウエハーの露光に特化し、従来の水銀ランプを使用しているシステムへ容易に統合できるように設計されています。また純正...

製品詳細

UV照射器(LED) ALE/3

ハイパワーＵＶ出力:最大15W
水銀不使用
LEDで高安定、ランニングコスト削減
内蔵するLEDを選択可能
単一波長：365, 385, 405, 436 nm
2波長：365および405nm
外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

ALE/3は、従来の水銀ランプに代わる高出力のLED紫外線光源装置です。2種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の同時出力が可能です。複数波長での照射は効率的なUV樹脂、接着剤硬化を実現します。また、搭載されたLEDモジュールは容易に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/3は樹脂、接着剤硬化および半導体ウェーハの周辺露光、フォトマスク検査、レチクル検査など、水銀放電ランプを使用しているアプリケーションにおいて有効な代替案となります。

製品詳細

UV照射器(LED) 　ALE/1C

超高出力（最大50 W）
高安定性（クローズドループによる出力制御）
低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）
水銀ランプと代替可能
外付け冷却

ALE/1Cは、従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。

製品詳細

UV照射器(LED) ALE/1

ハイパワーＵＶ出力:最大30W
水銀不使用
LEDで高安定、ランニングコスト削減
内蔵するLEDを選択可能
365nm/385nm/405nm/435nm
(オプションでVIS（470、520、620、660、690nm）、
　NIR（730、770、810、850、970nm）など幅広い波長領域からLEDを選択できます。）
フィードパックコントロール制御による出力維持
外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED紫外線光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/1は、多くの半導体製造プロセス、FPD、印刷、3Dプリンタ等の生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能な紫外線照射装置です。また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要とし...

製品詳細

LED照射器 ALE/1（可視光）

水銀不使用
LEDで高安定、ランニングコスト削減
内蔵するLEDを選択可能
470、520、620、660、690nm
(UVモデル（365nm/385nm/405nm/435nm）、
NIR（730、770、810、850、970nm）など幅広い波長領域からLEDを選択できます。）
フィードパックコントロール制御による出力維持
外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。 ALE/1は、多くのプロセスや生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能です。また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、...

製品詳細