ALEシリーズ
primlite×LED照射器

UV照射器(LED) 　ALE/1C

最大50W 超高出力のUV-LED照射装置

ALE/1Cは、従来の放電ランプ（水銀ランプ）に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム（CSS）と露光システム（ESS）の2 つを接続して使用します。
システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。
また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。

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製品の特徴

超高出力（最大50 W）
高安定性（クローズドループによる出力制御）
低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）
水銀ランプと代替可能
外付け冷却

製品情報

仕様アプリケーション技術情報 PDF資料
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仕様

LED の出力波長範囲	365nm 〜970nm で3 つまでのLED を搭載可能
全放射出力	40W ( 外部の冷却装置を使用した場合は50W )
出力強度 (※1)	最大100,000mW⁄ cm²
NA（開口数	可変（光学系に依存）
通信インターフェース	USB（ソフトウェアによる操作）/PLC/Fieldbus
熱管理	内部水冷式/ 外部冷却（オプション）
寸法（WHD)	ESS：20 × 13 × 20.5cm　 CSS：20 × 15 × 45cm CSS(Rack)：44 × 18 × 37cm
重量	ESS：5kg CSS：9Kg CSS(Rack)10kg
電源入力	110-240VAC/50-60Hz /1,000W
コントローラー	内部水冷式個別でLED パワーの調整が可能 LED の立ち上がり時間:1ミリ秒高精度な強度調整（20 -100％）内部または外部信号による光出力の監視とフィードバック制御

※1　ライトパイプ（Ø8mm HEX AR coated）の出射端で測定（出力強度は10％程度ばらつく可能性あり）

ライトパイプ/ホモジナイザー

タイプ	円形:Ø6.5、Ø8.0 mm 六角形:Ø8.0 mm 四角形:7mm×7mm
長さ	58mm
N.A.	0.6/70°(2α )
ARコーティング	R_abs[350－450nm]≤ 1%

集光光学系

タイプ	ASP Ø25 mm	ASP Ø34 mm
N.A.	0.24 / 28° (2α )	0.14 / 16° (2α )
ARコーティング	R_abs[350－450nm]≤ 1%

使用時の接続イメージ

UV-LED照射器 ALE/1C使用時の接続イメージ

3NUV(LED) {365nm, 405nm, 435nm}の出力スペクトル特性

アプリケーション

電子部品、自動車パーツのUV硬化/コーティング
マスクアライナー
ステッパー
ウェハ周辺露光
ＵＶ硬化
ＵＶ光源を用いる検査装置

技術情報

水銀ランプとの出力比較

タイプ		出力
タイプ		g-h-i線 350-470nm	i線 350-385nm
Primelite UV-LED光源 ALE/1C	外部冷却装置使用 (φ8㎜六角ライトパイプ）	50W	21W
	スタンダード (φ8㎜六角ライトパイプ）	40W	17W
	スタンダード (φ6.5mm円形ライトパイプ）	35W	14W
水銀ランプ	1000Wタイプ	37W	17W
水銀ランプ	500Wタイプ	17W	9W