UV照射器(LED) 　ALE/1C

製品の特徴

• 超高出力（最大50 W）
• 高安定性（クローズドループによる出力制御）
• 低ランニングコスト（LED使用で長寿命：10,000 時間）
• 水銀ランプと代替可能
• 外付け冷却

製品情報

仕様

　

LED の出力波長範囲	365nm 〜970nm で3 つまでのLED を搭載可能
全放射出力	40W ( 外部の冷却装置を使用した場合は50W )
出力強度 (※1)	最大100,000mW⁄ cm2
NA（開口数	可変（光学系に依存）
通信インターフェース	USB（ソフトウェアによる操作）/PLC/Fieldbus
熱管理	内部水冷式/ 外部冷却（オプション）
寸法（W*H*D)	ESS：20 × 13 × 20.5cm　 CSS：20 × 15 × 45cm CSS(Rack)：44 × 18 × 37cm
重量	ESS：5kg CSS：9Kg CSS(Rack)10kg
電源入力	110-240VAC/50-60Hz /1,000W
コントローラー	内部水冷式個別でLED パワーの調整が可能 LED の立ち上がり時間:1ミリ秒 高精度な強度調整（20 -100％） 内部または外部信号による光出力の監視とフィードバック制御

※1　ライトパイプ（Ø8mm HEX AR coated）の出射端で測定（出力強度は10％程度ばらつく可能性あり）

ライトパイプ/ホモジナイザー

タイプ	円形:Ø6.5、Ø8.0 mm 六角形:Ø8.0 mm 四角形:7mm×7mm
長さ	58mm
N.A.	0.6/70°(2α )
ARコーティング	Rabs[350－450nm]≤ 1%

集光光学系

　　 　　　 　　　 　　 　　　 　　　 　　 　　　

タイプ	ASP Ø25 mm	ASP Ø34 mm
N.A.	0.24 / 28° (2α )	0.14 / 16° (2α )
ARコーティング	Rabs[350－450nm]≤ 1%

使用時の接続イメージ

3NUV(LED) {365nm, 405nm, 435nm}の出力スペクトル特性

アプリケーション

• 半導体 | マスクアライナー用LED照射装置
• 電子部品、自動車パーツのUV硬化/コーティング
• マスクアライナー
• ステッパー
• ウェーハ周辺露光
• ＵＶ硬化
• ＵＶ光源を用いる検査装置

技術情報

水銀ランプとの出力比較

タイプ		出力
		g-h-i線 350-470nm	i線 350-385nm
Primelite UV-LED光源 ALE/1C	外部冷却装置使用 (φ8㎜六角ライトパイプ）	50W	21W
	スタンダード (φ8㎜六角ライトパイプ）	40W	17W
	スタンダード (φ6.5mm円形ライトパイプ）	35W	14W
水銀ランプ	1000Wタイプ	37W	17W
	500Wタイプ	17W	9W

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