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UV-LED照射器 ALE/1C

UV-LED照射器 ALE/1C

UV-LED照射器 ALE/1C
UV-LED照射器 ALE/1C
Primelite

最大50W 超高出力のUV-LED照射装置

ALE/1Cは、従来の放電ランプ(水銀ランプ)に代わる、超高出力のLED照射システムです。ALE/1C は制御システム(CSS)と露光システム(ESS)の2 つを接続して使用します。
システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易なコンパクトさと高出力を両立させました。
また、露光システムは、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせてお使いいただくことができます。

製品の特徴

  • 超高出力(最大50 W)
  • 高安定性(クローズドループによる出力制御)
  • 低ランニングコスト(LED使用で長寿命:10,000 時間)
  • 水銀ランプと代替可能
  • 外付け冷却
 

製品情報

仕様

 
LED の出力波長範囲365nm 〜970nm で3 つまでのLED を搭載可能
全放射出力 40W ( 外部の冷却装置を使用した場合は50W )
出力強度 (※1) 最大100,000mW⁄ cm2
NA(開口数 可変(光学系に依存)
通信インターフェース USB(ソフトウェアによる操作)/PLC/Fieldbus
熱管理 内部水冷式/ 外部冷却(オプション)
寸法(W*H*D) ESS:20 × 13 × 20.5cm 
CSS:20 × 15 × 45cm
CSS(Rack):44 × 18 × 37cm
重量 ESS:5kg
CSS:9Kg
CSS(Rack)10kg
電源入力 110-240VAC/50-60Hz /1,000W
コントローラー 内部水冷式個別でLED パワーの調整が可能
LED の立ち上がり時間:1ミリ秒
高精度な強度調整(20 -100%)
内部または外部信号による光出力の監視とフィードバック制御

※1 ライトパイプ(Ø8mm HEX AR coated)の出射端で測定(出力強度は10%程度ばらつく可能性あり)

ライトパイプ/ホモジナイザー

タイプ 円形:Ø6.5、Ø8.0 mm
六角形:Ø8.0 mm
四角形:7mm×7mm
長さ 58mm
N.A. 0.6/70°(2α )
ARコーティング Rabs[350-450nm]≤ 1%

集光光学系

                            
タイプASP Ø25 mmASP Ø34 mm
N.A.0.24 / 28° (2α )0.14 / 16° (2α )
ARコーティングRabs[350-450nm]≤ 1%

使用時の接続イメージ

UV-LED照射器 ALE/1C使用時の接続イメージ

3NUV(LED) {365nm, 405nm, 435nm}の出力スペクトル特性

365nm, 405nm, 435nmの出力スペクトル特性

アプリケーション

  • マスクアライナー
  • ステッパー
  • ウェハ周辺露光
  • UV硬化
  • UV光源を用いる検査装置

技術情報

水銀ランプとの出力比較
タイプ 出力
g-h-i線
350-470nm
i線
350-385nm
Primelite
UV-LED光源
ALE/1C
外部冷却装置使用
(φ8㎜六角ライトパイプ)
50W 21W
スタンダード
(φ8㎜六角ライトパイプ)
40W 17W
スタンダード
(φ6.5mm円形ライトパイプ)
35W 14W
水銀ランプ 1000Wタイプ 37W 17W
500Wタイプ 17W 9W

UV照射器の選び方

UV硬化の仕組み

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