SDS（安全データシート）
Primelite社 光源装置「ALE/1 , ALE/1C」の冷却水に関するSDS
Primelite社製光源装置「ALE/1」、「ALE/1C」の冷却水（クーラント）に関するSDS（安全データシート）をダウンロードいただけます。
製品情報
Primelite社 | ALE1
従来の水銀放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置。最大5種類のLEDを内蔵可能なため、複数の波長の出力が可能。多くの半導体製造プロセス、FPD、印刷、3Dプリンタ等の生産環境へ簡単に統合できる。
製品ページ
Primelite社 | ALE1C
制御システム（CSS）と露光システム（ESS）で構成された、高出力、高安定のLED光源装置。システムを2 つに分割したことで、装置への統合が容易。露光システム（CSS）は、ライトパイプ、ライトガイド等の様々な光学部品と組み合わせて使用可能。
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