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お問い合わせUV照射器(LED) ALE/1C用途例
半導体 | ウェーハステッパー
広帯域ウェーハステッパーは、1Xステッパーやミニステッパーとして知られており、ファンアウトウェハレベルパッケージング（FOWLP）、ウェハレベルチップスケールパッケージング（WLCSP）、Si貫通電極（TSV）などの高度なパッケージング用途に不可欠です。これらの高度に専門化されたステップ・アンド・リピート・リソグラフィ・システムは、MEMS や化合物半導体などの複雑な微細構造を形成するのに役立っています。
Primelite社の広帯域UV-LED光源ALE/1 およびALE/1Cは、お使いのステッパー用光源を水銀放電ランプからUV-LED照明にアップグレードしたい場合に最適です。
当社のシステムは、数え切れないほどの半導体製造工程において、そのメリットを日々実証しています。当社の高性能UV-LED照明技術をウェーハステッパーに使用することで、所有コストを削減しながら処理能力（WPH）を向上させることが可能になります。
（WPH：Wafers per Hour）
Primelite社のUV-LED露光ソリューションは、従来のランプハウスに取って代わるものです。
一次ビーム折り返しミラー、450nm 以上の放射を吸収するヒートシンク、シャッター、フィルターが不要になります。当社のLED光学性能は、従来の均一/ 集光コンポーネントの経済的な代替品にもなります。
ウェーハステッパー用光源を水銀放電ランプからUV-LEDにアップグレードするには、次の2 つのオプションがあります。
フレキシブルなライトガイドを備えたファイバー結合UV-LED 光源「ALE/1」は、LEDの光を透過率の高いライトガイドで導光でき、光源装置の設置条件や設計要件が厳しい場合にも対応可能です。
ALE/1C は分散型設計を採用しています。
CSS（制御サブシステム） と小フットプリントのESS（露光サブシステム）は、別々のコンポーネントになっているため、ウェーハステッパーに使用されている従来の水銀放電ランプハウスをESSへ置き換えることが可能です。
Primelite社は、どちらのソリューションにおいてもお客様の装置に合わせたカスタマイズが可能です。
既存システムのレトロフィットも対応いたします。
i 線、ｇ線、ｈ線を組み合わせた高出力を実現
ALE/１Cの出力特性（CWL：365 / 405 / 436 nm）
多くのフォトリソグラフィーアプリケーションは、i 線、h 線、ｇ線（CWL 365 / 405 / 436 nm）の放射を含む広帯域露光に依存しています。当社のUV-LED 露光システムは、水銀放電ランプと同様のスペクトル特性の出力が可能です。そのため、水銀放電ランプからUV-LED露光システムへのプロセスのアップグレードは最小限の適応で済みます。
中心波長が2 種類（365 / 405 nm または405 / 436 nm）のセットアップも可能です。
| 出力パワー [mW] | 広帯域 （350~450 nm) |
i 線 （355~385 nm） |
|
|---|---|---|---|
| Primelite社製 LED照射装置 |
ALE/1 | 30,000 | 10,000 |
| ALE/1C※1 | 40,000 | 17,000 | |
| 水銀放電ランプ （typical values） |
500 W | 25,000 | 12,000 |
| 1,000 W | 50,000 | 25,000 | |
※1 : Standard mode; Performance mode with chiller delivers additional 20% output
当社のUV-LED露光システムのスイッチング時間（0～100 ％）は1 msec未満です。
内部の閉ループフィードバック制御システムは、短い露光サイクルでも長い露光サイクルでも放射出力を一定に保つことが可能です。
この機能により、タイマーだけで50 msecの短い照射において±0.2％の放射出力精度を達成できます。照射サイクルが長くなると精度はさらに向上します。
従来の放電ランプ（水銀ランプ）から代替可能な、超高出力のLED照射器。出力制御によって、高出力の光を安定して出力できます。装置への統合も容易なコンパクトサイズ。
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