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UV-LED照射器 ALE/1用途例

フォトリソグラフィ

フォトリソグラフィ

半導体業界、印刷業界、FPD等におけるフォトリソグラフィに。
ALE/1は、LEDに関わらず高出力のUV光を出力出来るUV照射器(UV光源装置)です。
435nm(g線)、405nm(h線)、 365nm(i線)の波長を全放射出力最大28W、出力強度最大55W/㎠でご提供致します。

UV-LED照射器 ALE/1製品詳細

フォトリソグラフィにおける光源について

半導体における露光装置としては、ステッパ(Stepper:縮小投影型露光装置)が広く使用されており、露光の際には、この装置の中に組み込まれた光源が用いられます。
露光用光源から光が発せられ、レクチルを通過し、レチクルパターンの像を形成します。
露光に用いられる光源として、UV光源をお求めの場合、ALE/1をご検討ください。
UV照射器ALE/1は、高出力のUVを安定して照射すること可能です。また外付けの冷却装置が不要なため、新しいシステムや既存システムへの統合が容易となっております。

UV-LED照射器 ALE/1他の用途例