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超高感度 VUV/EUV/X線領域対応 sCMOSカメラ
CHARLIE

超高感度 VUV/EUV/X線領域対応 sCMOSカメラ<br>CHARLIE

greateyes

X線およびEUVイメージングと分光分析の限界を超越する、ノイズを最小限に抑えた裏面照射型真空対応sCMOSカメラ

ドイツ_ベルリン発、greateyes社の最新裏面照射型sCMOSカメラ「CHARLIE」は、最先端技術と革新的な機能を融合させ、未来の計測にかつてない可能性をもたらします。

「CHARLIE」は、VUV、EUV、X線領域の幅広いアプリケーション向けに特別に設計されたsCMOSカメラで、低ノイズエレクトロニクスと深冷却技術を採用しており、最大99%の高い量子効率(QE)、高い飽和電荷量、高いダイナミックレンジ、そして最大16ビット(HDRモード)を実現します。
「CHARLIE」は、超高真空(UHV)分野における、greateyes社の長年の経験に基づき開発されており、回転式を含む様々なフランジオプションが選択可能です。オリジナルVisionソフトウェアに加えて、各種SDKとドライバーも利用可能です。

CHARLIEの特徴

1. 超高感度
  • 最大99 %の高い量子効率 (QE)
  • -50 ℃までの深冷却技術による、優れた検出限界と低ノイズを実現する極めて低い暗電流
2. 高いカメラ性能
  • 高いフレームレート(最大48 fps、12 ビット SDRモード)
  • Giga EthernetおよびUSB 3.0インターフェースにより、ローカルまたはリモートネットワークでの操作が可能
3. 真空装置への組み込み使用が可能
  • 回転式を含む様々なフランジオプション
  • オリジナルVisionソフトウェアが付属し、各種SDKとドライバーも利用可能

CHARLIEの製品情報

CHARLIEの仕様

製品モデル CHARLIE 2k2k BI 11
フレームレート 24 FPS(HDRモード)
48 FPS(SDRモード)
ADC分解能
(ADC Resolution)
12-Bit(SDRモード)
16-Bit(HDRモード)
低ゲインモード 0.04 counts/e-
高ゲインモード 1.94 counts/e-
直線性
(Linearity)
99 %以上
フランジタイプ CF DN63、CF DN100、CF DN160
(カスタマイズ可能)
フランジから焦点面までの距離
(Flange – Focal Plane)
5 mm(CF DN63の場合)
7.3 mm(CF DN100の場合)
真空適合性
(Vacuum compatibility)
CFフランジ使用時 10-9
(超高真空・UHV対応)
ベークアウト温度
(Bakeout temperature)
最大 80 ℃
温度監視 2つのサーミスタによる温度監視
(sCMOSセンサー部と、熱電冷却器の高温側に配置)
ビニング 完全フレキシブル
sCMOSセンサー冷却 -50 ℃ ~ 20 ℃、
強制空冷または液冷
冷却システム 多段熱電冷却器(ペルチェ冷却)
カメラインターフェース USB 3.0、Gigabit Ethernet
トリガー(TTL) 露光出力 (exposure out)、
シャッター出力 (shutter out)、
外部トリガー入力(external trigger in) × 2
電源 0-264 VAC(115/230 VAC typ. )、47-63 Hz(typ. 50/60 Hz typ. )、
max. 1.1 A(230 VAC)/ 1.9 A(115 VAC)
カメラ本体寸法
(W×H×L)
8.3 cm (3.27”) × 11.8 cm (4.65”) × 12.4 cm (4.88”)
重量 3.1 kg(CF DN63フランジ選択時)
センサー仕様
センサーコード GSENSE400BSI
センサータイプ 裏面照射型
(Back illuminated)
反射防止(AR)コーティング なし(no coating)
ピクセルフォーマット
(Pixel Format)
2048 × 2048
画像エリア
(Image Area)
22.5 mm × 22.5 mm
ピクセルサイズ
(Pixel Size)
11 μm × 11 μm
フルウェルキャパシティ:飽和容量
(Full-Well Capacity)
91,000 e-(typical)
暗電流
(Dark Current)
約 0.2 e-/pixel/s(typical)( -50 ℃時)
標準読み出しノイズ
(Typical Read Noise)
1.6 e-(中央値:HDRモード)
欠陥仕様
(Blemish Specifications)
grade 1 (standard)
grade 0 (ご要求に応じて対応)

製品に関するご注意

  • ※ 製品改良のため、仕様・外観・構成等は、予告なく変更となる場合がございます。あらかじめご了承ください。

アプリケーション

  • X線分光法
  • EUVリソグラフィー
  • 高次高調波発生(HHG)検出
  • FEL 高繰り返し X線イメージング
  • コヒーレント回折イメージング(CDI)
  • 小角X線散乱(SAXS) および 共鳴非弾性X線散乱(RIXS)
  • NEXAFS分光法
  • X線タイコグラフィー

技術情報

CHARLIE-sCMOS-sensor-Typical-quantum-efficiency

Typical quantum efficiency of the sCMOS Sensor

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メーカー名

展示会情報

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