真空チャンバー内向け
超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ LOTTE-i

LOTTE-iの特徴

greateyes社のCCDカメラは、VUV,EUV,X線領域に対して超高感度という圧倒的な特徴を持ちながら、カメラとしても高い性能を有しており、真空装置での使用に最適です。

LOTTEのCCDセンサーの特性

(1)量子効率の波長特性

LOTTEシリーズのBIモデルは、80nm〜0.124nmの測定が可能で、特にEUV(13.5nm )や1nm付近のX線に対して高い感度を持ちます。

(2)入射光量と光子カウント数の特性

LOTTEシリーズのCCDセンサーは、99%以上という非常に高い直線性を持っています。

LOTTE-iの製品情報

モデル一覧

greateyes社のLOTTEシリーズは、解像度に応じて、1k1k、2k2k、2k2k plus、4k4kの４つのランナップをご用意しています。

また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ、前面照射型CCD(FI)、背面照射型CCD(BI)、フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD)、背面照射型CCD[高感度型](BI UV1)を用途に応じてお選びいただけます。

LOTTE-iシリーズ		LOTTE-i 1k1k		LOTTE-i 2k2k		LOTTE-i 2k2k plus		LOTTE-i 4k4k
CCDセンサーモデル		FI BI BIUV1	BIDD	FI BI	BIDD BIUV1	BI		BI	BIDD BI UV1
解像度[px]		1,024×1,024（FI）1,056 × 1,027 (others)		2,048×2,052		2,048×2,064		4,096×4,112
有効センサーサイズ		13.3×13.3mm		27.6×27.6mm		30.7×30.7mm		61.4×61.4mm
ピクセルサイズ		13×13μm		13.5×13.5μm		15×15μm		15×15μm
CCDセンサー冷却		-100℃～20℃		-80℃～20℃		-80℃～20℃		-80℃～20℃
フルウェルキャパシティ(飽和容量)		100ke-	120ke-	100ke-	150ke-	150ke-		150ke-	350ke-
リードノイズ[e-]	@50kHz	2.8		3.4		4.6		4.6	2.8
	@1MHz	6.4		7		8.5		8.5	5.8
	@3MHz	10.9		13.6		17.0		17.0	10.4
暗電流[e‐/pixel/s]		@‐80℃		@-80℃		@-80℃		@-80℃
		0.0003	0.015	0.0003	0.015	0.0001		0.0001	0.006
ゲイン[counts/e-]	通常	1		1		0.6		0.6	1
	高容量モード	-		0.34		0.2		0.2	0.34

カメラのパッケージデザイン

カメラのパッケージは、装置のサイズに合わせて、rc（コンパクトタイプ）とscを選択することができます。

rc	sc

LOTTE-iの仕様

カメラの仕様は以下をご参照ください。

LOTTE-iシリーズ	LOTTE-i 1k1k		LOTTE-i 2k2k		LOTTE-i 2k2k plus		LOTTE-i 4k4k
ピクセル読み出し周波数	50 kHz, 250 kHz, 1 MHz, 3 MHz5 MHz (visualization mode)〜20 MHz (multi-output)
読み出しモード	2 output				4 output
ADC分解能	18-bit
温度監視	CCDセンサーとサーモエレクトリッククーラーの２箇所に搭載
冷却システムブレイクアウト温度	最大+80 ℃
インターフェース	Gigabit Ethernet, USB 3.0
TTLインターフェース	露光出力、外部トリガ入力
動作環境	周囲温度： 0～35℃, 相対湿度＜80% (結露無きこと）
電源	80-264 VAC (typ. 115/230),47-63 Hz (typ. 50/60)max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)				85-264 VAC (typ. 115/230),47-63 Hz (typ. 50/60),max. 1.9 A (230 V) / 3.8 A (115 V)
カメラ本体寸法（W×H×L）	rc : 98 × 90 × 235 mm sc : 90 × 127 × 189 mm						rc : 98 × 90 × 236 mm sc : 94 × 127 × 190 mm
重量	rc : 4.9 kg sc : 5.0 kg						rc : 5.1 kg sc : 5.1 kg
認証	CE

アプリケーション

• EUVリソグラフィー
• X線トモグラフィ
• フーリエ変換ホログラフィー
• 位相コントラストX線イメージング
• Ｘ線回折
• タイコグラフィ―
• 斜入射小角X線散乱法(GISAXS)

技術情報

CMOSセンサーとの比較

以下は、スイスの先端的な解析技術の研究機関であるEMPAによる、greateyes社のCCDセンサーと蛍光面型のCMOSセンサーを用いたプラズマの分光測定結果比較です。

greateyes社のCCDセンサーは、CMOSセンサーと比較して、感度が非常に高く、分解能も良い（半値幅が狭い）ため、微小な信号もとらえることができていることがわかります。

外形図

ソフトウェア

Windowsで動作するソフトウェア(Grateyes Vision Software suite)およびC/C++ベースのSDKが標準で付属します。
さらに、Linux用のSDK、Python, LabVIEW, EPICS, Tango用のドライバーをオプションで選択することが可能です。

Grateyes Vision Software suite

カメラの設定、波長のキャリブレーション、取得データの表示・分析・保存など基本的な機能を網羅したソフトウェアです。

付属品

カメラには、ソフトウェアに加え、真空装置に取り付けるフィードスルー用のフランジ、真空装置内外で接続に使用するケーブルや電源などが付属します。

• Greateyes Vision software suite（Windows用）
• SDK [C/C++ based] (Windows用)
• CF DN100フランジ(電気信号ケーブルおよび水冷用ケーブルのフィードスルー付き)
• 真空装置内用冷却水ホース x 2
• 真空装置内用PTFE D-subケーブル x 2
• 3m USB 3.0 ケーブル （type A to type C）
• 10m Ethernet ケーブル
• 2m SMB - BNC 接続ケーブル × 2
• カメラ電源（ケーブル付き）
• 取扱い説明書

オプション

シャッター、フランジ、冷却装置、真空装置内用の冷却水ホースなどをオプションで選択することができます。

• 25mm シャッター

  1k1k用のシャッター（シャッタードライバーモジュール含む）

• 45mm シャッター

  2k2k, 2k2k plus用のシャッター（シャッタードライバーモジュール含む）

• 窓付きCF DN63フランジ

  ベリリウム、MgF2、UVFS(UV溶融石英)などX線やEUV領域に透過波長を持つ材料を窓材とした窓付きCF DN63フランジをカメラと装置の間に取り付けることができます。（真空ポンプ用ポート付き）

• コンパクト冷却装置

  常温で冷却液を循環させる冷却装置

• 循環式ウォーターチラー

  温度範囲-5℃〜30℃のカメラ冷却用装置（PID制御）

• 305 mm真空装置内用ホース

  径：1/4“, ガスケット：VCR male/female, 長さ：305 mm (２本)

• 1200 mm真空装置内用ホース

  径：1/4“, ガスケット：VCR male/female, 長さ：1200 mm (２本)

　資料ダウンロード

LOTTE-iに関するお問い合わせ