超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ
ALEX-i

ALEX-iの特徴

greateyes社のALEXシリーズは、超高感度のCCDセンサーを搭載しているという圧倒的な特徴を持ちながら、カメラとしても高い性能を有しており、真空装置での使用に最適です。

ALEXのCCDセンサーの特性

(1)量子効率の波長特性

ALEXシリーズのBIモデルは、80nm〜0.124nmの測定が可能で、特にEUV(13.5nm )や1nm付近のX線に対して高い感度を持ちます。

(2)入射光量と光子カウント数の特性

ALEXシリーズのCCDセンサーは、99%以上という非常に高い直線性を持っています。

ALEX-iの製品情報

モデル一覧

greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、1k1k、2k2k、2k2k plus、4k4kの４つのランナップをご用意しています。

また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ、前面照射型CCD(FI)、背面照射型CCD(BI)、フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD)、背面照射型CCD[高感度型](BI UV1)を用途に応じてお選びいただけます。

ALEX-iシリーズ		ALEX-i 1k1k		ALEX-i 2k2k		ALEX-i 2k2k plus		ALEX-i 4k4k
CCDセンサーモデル		FI BI BI UV1	BI DD	FI BI	BI DDBI UV1	BI		BI	BI DDBI UV1
製品画像
解像度[px]		1,024×1,024（FI）1,056 × 1,027 (others)		2,048×2,052		2,048×2,064		4,096×4,112
有効センサーサイズ		13.3×13.3mm		27.6×27.6mm		30.7×30.7mm		61.4×61.4mm
ピクセルサイズ		13×13μm		13.5×13.5μm		15×15μm		15×15μm
CCDセンサー冷却		-100℃～20℃		-90℃～20℃		-90℃～20℃		-90℃～20℃
フルウェルキャパシティ(飽和容量)		100ke-	120ke-	100ke-	150ke-	150ke-		150ke-	350ke-
リードノイズ[e-]	@50kHz	2.8		3.4		4.6		4.6	2.8
	@1MHz	6.4		7		8.5		8.5	5.8
	@3MHz	10.9		13.6		17		17	10.4
暗電流[e‐/pixel/s]		@‐100℃		@-90℃		@-90℃		@-90℃
		0.00015	0.0005	0.0001	0.001	0.00008		0.00008	0.0006
ゲイン[counts/e-]	通常	1		1		0.6		0.6	1
	高容量モード	-		0.34		0.2		0.2	0.34

ALEX-iの仕様

カメラの仕様は以下をご参照ください。

ALEX-iシリーズ	ALEX-i 1k1k		ALEX-i 2k2k		ALEX-i 2k2k plus		ALEX-i 4k4k
ピクセル読み出し周波数	50 kHz, 250 kHz, 1 MHz, 3 MHz5 MHz (visualization mode)〜20 MHz (multi-output)
読み出しモード	2 output				4 output
ADC分解能	18-bit
温度監視	CCDセンサーとサーモエレクトリッククーラーの２箇所に搭載
冷却システムブレイクアウト温度	最大+80 ℃
インターフェース	Gigabit Ethernet, USB 3.0
TTLインターフェース	シンクロ出力、シャッター出力、外部トリガ入力(x2)
動作環境	周囲温度： 0～35℃, 相対湿度＜80% (結露無きこと）
電源	80-264 VAC (typ. 115/230),47-63 Hz (typ. 50/60)max. 1.1 A (230 V) / 1.9 A (115 V)				85-264 VAC (typ. 115/230),47-63 Hz (typ. 50/60),max. 1.9 A (230 V) / 3.8 A (115 V)
カメラ本体寸法（W×H×L）	83×100×109mm				137×137×133mm
重量	2.9 kg (CF DN63選択時)4.3 kg (CF DN 100選択時)				12.5kg (CF DN160選択時)
認証	CE

アプリケーション

• EUVリソグラフィー
• X線トモグラフィー
• フーリエ変換ホログラフィー
• Ｘ線透視撮影法
• コヒーレント回折イメージング
• Ｘ線タイコグラフィ―
• 斜入射小角X線散乱法(GISAXS)

技術情報

CMOSセンサーとの比較

以下は、スイスの先端的な解析技術の研究機関であるEMPAによる、greateyes社のCCDセンサーと蛍光面型のCMOSセンサーを用いたプラズマの分光測定結果比較です。

greateyes社のCCDセンサーは、CMOSセンサーと比較して、感度が非常に高く、分解能も良い（半値幅が狭い）ため、微小な信号もとらえることができていることがわかります。

外形図

真空フランジ

ALEXシリーズは、フランジと一体化しており、且つ80度のベークにも耐えることができるように設計されているので、UHV(10-10mbar)の真空度に対応可能です。

４種類のフランジをを用意しており、カメラとの組み合わせで選択いただきます。

	ALEX-i 1k1k	ALEX-i 2k2k	ALEX-i 2k2k plus	ALEX-i 4k4k
CF DN 63	○	○	×	×
CF DN 100	○	○	×	×
CF DN 160	○	○	○	○
CF DN 10 (回転式）	○	○	×	×

また、フランジと組み合わせた場合の焦点距離の例を紹介します。

	ALEX-i 1k1k	ALEX-i 2k2k	ALEX-i 2k2k plus	ALEX-i 4k4k
焦点距離	CF DN63: 6 mm	CF DN63: 5 mm	CF DN160: -27 mm

※フランジのカスタマイズ対応(焦点距離を含む）に関しては、お問い合わせください。

ソフトウェア

Windowsで動作するソフトウェア(Grateyes Vision Software suite)およびC/C++ベースのSDKが標準で付属します。
さらに、Linux用のSDK、Python, LabVIEW, EPICS, Tango用のドライバーをオプションで選択することが可能です。

Grateyes Vision Software suite

カメラの設定、波長のキャリブレーション、取得データの表示・分析・保存など基本的な機能を網羅したソフトウェアです。

付属品

カメラには、ソフトウェアに加え、ケーブルや電源が付属します。

• Greateyes Vision software suite（Windows用）
• SDK [C/C++ based] (Windows用)
• 3m USB 3.0 ケーブル （type A to type C）
• 10m Ethernet ケーブル
• 2m SMB - BNC 接続ケーブル × 2
• カメラ電源（ケーブル付き）
• 取扱い説明書

オプション

シャッター、フランジ、冷却装置などをオプションで選択することができます。

• 25mm シャッター

  1k1k用のシャッター（シャッタードライバーモジュール含む）

• 45mm シャッター

  2k2k, 2k2k plus用のシャッター（シャッタードライバーモジュール含む）

• 窓付きCF DN63フランジ

  ベリリウム、MgF2、UVFS(UV溶融石英)などX線やEUV領域に透過波長を持つ材料を窓材とした窓付きCF DN63フランジをカメラと装置の間に取り付けることができます。（真空ポンプ用ポート付き）

• コンパクト冷却装置

  常温で冷却液を循環させる冷却装置

• 循環式ウォーターチラー

  温度範囲-5℃〜30℃のカメラ冷却用装置（PID制御）

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ALEX-iに関するお問い合わせ