ケイエルブイは、ハイパースペクトルカメラ・光学部品・光源など世界中の光学機器を取り扱う専門商社です。
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greateyes GmbHはイメージングおよび分光アプリケーション向けの科学用高性能カメラを製造しているドイツに拠点を置くメーカーです。greateyes社独自のプラットフォームコンセプトに基づき、X線からEUV、可視、近赤外までの幅広い領域において高感度・高性能の製品を豊富に取り揃えております。
2008年にベルリン・フンボルト大学からスピンオフして設立されて以降、EU諸国をはじめ、さまざまな国の研究機関や企業にカメラやカメラシステムが販売され、国際的な企業へと発展しました。
また、greateyes社はエレクトロルミネッセンスとフォトルミネッセンスの測定システムの国際的なリーディングサプライヤーとなっており、これらの装置はウェハー製造の最適化や詳細な品質評価を可能にし、半導体産業の研究開発を支えています。
さらに、greateyes社はベルリン・フンボルト大学とともにフォトルミネッセンス検査装置でベルリン・ブランデンブルグ・イノベーション賞を受賞しています。
greateyes社のLOTTE-iは、真空チャンバ内で使用が可能なVUV、EUV、X線領域に対応した超高感度CCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により超低ノイズで高いSN比を実現しているので、CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ステンレス製のハウジングを採用しており、アウトガスの発生を極限まで抑えているため、UHV(Ultra High Vacuum)の環境でご使用いただけます。 主なアプリケーションはVUV、EUV、X線領域での分光分析で、例えば、EUVのレーザー励起プラズマ光源と組み合わせるEUV透過分光法でナノメートルの精度での膜厚測定をすることができます。
greateyes社のALEXシリーズは、VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラです。 高感度のCCDと冷却技術により高いSN比を実現しているので、CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。 ALEXシリーズは、真空フランジに直接取り付けることができるので、お使いの真空装置への搭載が容易です。 主なアプリケーションはX線、EUV、VUV領域での分光分析で、例えば、EUVのレーザー励起プラズマ光源と組み合わせるEUV透過分光法でナノメートルの精度での膜厚測定をすることができます。
