KLV大学 ハイパースペクトルカメラコース
Q
ハイパースペクトルカメラで、膜厚の絶対値を測定することは可能ですか
A
「膜表面での反射光」と「膜を透過し基板での反射光」の干渉をハイパースペクトルカメラで測定することにより、膜厚を測定することが可能です。
原理は、分光を利用した白色干渉膜厚計と同じですが、多点の分光情報を一度に測定できるハイパースペクトルカメラの強みは、撮影後、光の屈折率から「膜厚マップ」を作成する際に活きてきます。
詳細は以下の記事をご確認ください。
