ハイパースペクトルカメラで撮影、取得した薄膜の波長情報から厚みを算出することで、非接触での厚み測定を行うことが可能です。
以下に可視光~近赤外領域(500-900nm)による感圧センサのMEMS(Micro Electro mechanical System)のウエハの測定事例をご紹介いたします。
ハイパースペクトルデータ処理ソフトウェア fluxTrainer/ fluxEngine用途例
薄膜厚み測定 「半導体ウエハの厚み検証」
電極部と酸化膜の厚み
ハイパースペクトルカメラでウエハを撮影し、取得した波長情報から、以下の画像内で指し示した箇所の電極部の厚みと酸化膜の厚みを算出しました。

厚み4種の可視化とヒストグラム表示
- 電極部上層
- 電極部下層
- 酸化膜
- 構造物

近赤外領域(1200~1650nm)による薄膜の厚み測定
1200nmを超える長波長域の波長しか通さないシリコン膜(*)でも、近赤外の測定に対応したハイパースペクトルカメラとソフトウエアを用いることで厚み測定が可能です。
(*以下の事例はパッシベーション層をInGaAsのハイパースペクトルカメラで撮影した測定例となります。)

高分解能での酸化膜の3次元表示とプロジェクション可視化
厚み全体に対して0.05%精度(*)で計測可能です。

(*厚み2000nmで1nmの理論上の精度となります。)
関連製品情報

ハイパースペクトルデータ処理ソフトウェア fluxTrainer/ fluxEngine
膨大な撮像データから波長分類(特徴量を抽出)、機械学習を用いたモデル学習・検証ができるソフトウェア。産業分野で活用可能。
製品ページハイパースペクトルデータ処理ソフトウェア fluxTrainer/ fluxEngine他の用途例
- 医薬品 | 薬剤成分の定量化
- リサイクル分野| 異物混入検査
- 食品分野 事例|品質検査/素材分類/ 食材貯蔵評価
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