ハイパースペクトルデータ処理ソフトウェア fluxTrainer／ fluxEngine用途例

薄膜厚み測定　「半導体ウエハの厚み検証」

電極部と酸化膜の厚み

ハイパースペクトルカメラでウエハを撮影し、取得した波長情報から、以下の画像内で指し示した箇所の電極部の厚みと酸化膜の厚みを算出しました。

厚み4種の可視化とヒストグラム表示

• 電極部上層
• 電極部下層
• 酸化膜
• 構造物

近赤外領域（1200～1650nm)による薄膜の厚み測定

1200nmを超える長波長域の波長しか通さないシリコン膜（*)でも、近赤外の測定に対応したハイパースペクトルカメラとソフトウエアを用いることで厚み測定が可能です。
(*以下の事例はパッシベーション層をInGaAsのハイパースペクトルカメラで撮影した測定例となります。）

高分解能での酸化膜の3次元表示とプロジェクション可視化

厚み全体に対して0.05％精度（*）で計測可能です。

(*厚み2000nmで1nmの理論上の精度となります。）

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