KLV大学光源コース

光源コースのダウンロード資料

Primelite社の「ALE/1」、「ALE/1C」の冷却水（クーラント）に関するSDS（安全データシート）です。

2024年オランダのアムステルダムで開催されたSource WorkshopでISTEQ社が発表したLPP-EUV光源の資料です。

ThreeBond社の”3103B”に対して、UVLED照射装置を用いて硬化に最適な波長条件を検討しました。
詳細な評価結果をダウンロードいただけます。

ケイエルブイがPrimelite社UVLED光源ALEシリーズと他社製UV光源の光量を同一のセンサーで測定した結果を紹介します。

ISTEQのEUV光源は回転ターゲットによって飛散デブリを低減し、高輝度/高安定を実現します。
本資料では、ターゲットを回転数による「飛散デブリの違い（SEM画像）」、「出力の安定度（EUV光出力）」などデータでを用いて回転ターゲットのメリットを示します。

波長可変光源の基本技術と選び方のダウンロードが可能です。
ダウンロード資料内では波長可変光源を技術的な観点から解説し、選定時の検討項目をご確認いただけます。波長可変光源の検討の際にご活用ください。