小型半導体装置内の状態観察
ミニマルファブは、半導体産業の多品種少量ニーズに適用した新し生産システムと近年注目されています。
これらの半導体製造装置は小型に設計されているため、内部に大きいカメラを設置するのは難しくなります。
また、細部までを観察するため、歪みが少なく、高解像度で高画質な画像が求められ、小型かつ高画質を実現できるカメラを必要とします。
超小型カメラモジュール（Lシリーズ）マイクロオプティクス用途例
半導体製造装置（前工程）の内部観察
小型半導体装置で使用するカメラの要件
- 半導体装置内の内部の動きを観察できる高画質な画像
- 小型装置内部への導入のため狭小スペースに設置できるカメラ
- 動作をとらえる速さと、細部まで観察できる歪みの少なさ
- 装置のダウンタイムを発生させないための高い堅牢性
Optikronの特徴
- サイズと画素の充実したラインナップ（最大8Mpix）
- 最小径2.7㎜～小型カメラにより省スペースを実現
- 高品質レンズにより高画質で歪みが少ない
- 稼働部分がないことによりメンテナンスレス
Optikronの小型カメラは、小型半導体装置で必要なカメラの要件を満たす事ができる優れたカメラであり、実際にミニマルファブの小型アニール装置にご採用いただきました。
以下の動画の一部(3:50)がOptikronで撮影いただいる画像になります。
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関連製品情報
超小型カメラモジュール（Lシリーズ）マイクロオプティクス
小型ながら、高画質のカラー動画・静止画の撮影が可能。高解像度、高光感度、高速自動調整のため、産業用・研究用問わず、幅広い用途で非常に高い性能を発揮します。
製品ページ超小型カメラモジュール（Lシリーズ）マイクロオプティクス他の用途例
- ディスペンサー装置内の観察
- 自動車エンジン内の観察
- 半導体製造装置（前工程）の内部観察
- 3Dプリンターの内部観察
- 船舶、鉄道、自動車業界における検査
