光学測定ツール　Optiquiver

製品の特徴

• 直感的で使いやすいユーザーインターフェイス。(Windows および MacOS と互換性あり)
• ゼルニケ分解、波面測定誤差、傾斜角、ビームプロファイルを備えた 波面マップ(2D,3D)
• 大きな開口部により集光光学系を追加することなく、ビームや反射面の測定が可能
• 内部光源状態、装置露光、ゲイン、関心領域、入力波長のユーザー制御が可能
• 長時間の検査を可能にするログ機能と、記録データのオフライン再生モード付
• コンパクトなサイズ
• OEM 統合用の API (Python、C++、Matlab 経由の gRPC)

製品情報

仕様

品番	QOQ-025-0550-075	QOQ-048-0550-075	QOQ-100-0550-075
光学性能
開口部直径	25 mm	48 mm	100 mm
内蔵光源	LED,RG1(Low Risk Group) per IEC-62471:2006
内部ビーム波長	550 nm
マスクピッチ	350 μm	500 μm	500 μm
マスク開口部直径	200 μm	250 μm	250 μm
有効焦点距離	75 μm	75 μm	75 μm
有効マスク開口部 (Active Mask Aperture)	6,568	7,668	7,668
最小ビーム径	3 mm	3 mm	5 mm
センサー性能
ディテクターレンジ (Detector Range)	400 ~ 750 nm	400 ~ 750 nm	400 ~ 750 nm
解像度	4,024 × 3,036 pix	5,472 × 3,648 pix	5,472 × 3,648 pix
ピクセルピッチ	1.85 μm	2.4 μm	2.4 μm
ビット深度	8 Bit	8 Bit	8 Bit
測定性能
マックスティルト (Max Tilt)	>4 deg	>6 deg	>8 deg
傾き精度 (Tilt Accuracy)	<0.5 秒	<1 秒	<1 秒
傾き分解能 (Tilt Resolution)	<0.25 秒	<0.5 秒	<0.5 秒
波面精度 (Wavefront Accuracy (RMS))	25 nm	30 nm	50 nm
波面分解能 (Wavefront Sensitivity (RMS))	10 nm	15 nm	25 nm
波面ダイナミックレンジ (Wavefront Dynamic Range)	>1 mm	>1.5 mm	>2 mm
一般性能
USBインターフェース	USB3.0 TypeA
フレームレート	4 ~ 20 Hz	2 ~ 10 Hz	2 ~ 10 Hz
電源供給	24 V, 1.5 A max
過電圧カテゴリ	過電圧カテゴリ2(OVⅡ)
汚染度	汚染度1(PD1)
動作温度	10 ~ 30 ℃
動作湿度	10 ~ 85 %（結露なきこと）
保管温度	-10 ~ 50 ℃

アプリケーション

• 適応光学（ミラーとレンズ）の監視と制御
• 平面鏡と非平面鏡の形状（PV）と表面粗さの測定
• 光学レンズの形状と画像品質の測定
• ベアリングの同心度測定（ガタツキ測定）
• X軸とY軸の自動ビームアライメント
• 光学テストセットアップにおける光路の確認と調整
• 高解像度光波面測定
• 表面への照射の均一性の測定
• 半導体ウェハの変形測定
• レーザー、LED、白色光源のビーム形状とビーム品質の測定

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