ウエハ搬送機の記録用およびメンテナンス
半導体工場で使われるウエハ搬送機は生産ラインの自動化・省人化を推進することで、その工程に従事する作業員の人件費削減および生産性の向上を図ることができます。
ただし、24時間稼働し続けることで知らない間に可動部が摩耗し故障することで、ダウンタイムが発生しメンテナンスに時間を取られてしまうということが考えられます。
このようなことを防ぐために定期的かつ継続的に搬送機の摩耗、劣化をチェックする必要があります。このとき、カメラには可動部分を邪魔しないように小さく、軽いことが求められます。