プラズマ源

超小型ECRプラズマ源　TESシリーズ

幅広い用途を網羅した超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）バイポーラ技術によるプラズマ源

様々な用途の半導体加工技術に使用可能なモデル。あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。