EUV・X線カメラ

X線、EUV、VUV領域のカメラは１nm付近から数十nmに感度をもつカメラです。
X線、EUV、VUV領域のカメラにも通常のカメラと同様に、CMOSとCCDの２種類があり、CMOSの方は高速・低消費電力、CCDには高感度という特徴があります。

ケイエルブイでは、主に研究・開発向けに、真空装置に挿入または取り付けして使用する超高感度CCDタイプのカメラを取り扱っています。

真空チャンバー内向け
超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ LOTTE-i

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した真空チャンバー内に搭載するタイプの超高感度のCCDカメラです。

超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ
ALEX-i

フランジ付き

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応したフランジ接続タイプの超高感度のCCDカメラです。