ガス分析計向け検出モジュール　MULTISENSE
mirSense × ガス分析計向け　OEM用検出モジュール

SF₆ガス分析計向け検出モジュール　
MULTISENSE SF₆

OEM用

SF6ガス分析計向け検出モジュール　 MULTISENSE SF6

SF₆ガス用の検出モジュール

MultiSense SF₆は、量子カスケードレーザー（QCL: Quantum Cascade Laser）と光音響セルを組み合わせたSF₆ガス分析計向けの検出モジュールです。 mirSense社独自の製造技術によって作られた「量子カスケードレーザー（QCL)」と「光音響分光（PAS）」の技術により、低濃度（ppb）のSF₆ガスの微量検出・監視をすることが可能です。

また、高性能なマイクロフォンが搭載されているためダイナミックレンジが広く、低濃度から高濃度までのガスを検知することも可能ですので、短時間で濃度変化を監視する連続排出モニタリング（CEM）やプロセス管理のアプリケーションに最適です。

対象ガス

ガス種	測定範囲^(※1)	検出限界（LOD）^(※2)	精度^(※3)
SF₆ （六フッ化硫黄）	0.01～250 ppm	＜ 0.01 ppm	＜ 2 %

(※1)目安値、その他の範囲についてはお問い合わせください。
(※2) 3δ、積算時間 60 sec
(※3）測定値またはLODの X ％

ガス分析計向け・OEM用モジュール

MultiSense SF₆は、ガス分析計向けのOEM用検出モジュールです。
小型（115×170×108 mm）で、可動部品がなく堅牢なモジュールで、メンテナンス性にも優れています。

問い合わせ

カタログ

製品の特徴

プロセスの最適化に適したスペック
ppb レベルの微量分析、精度<２％（読み取り値またはLOD）
リアルタイムモニタリングが可能：秒単位の応答速度
環境への影響を配慮したデザイン
ガスセル容量1 ml、サンプル抽出/流入量を「<80ml」まで低減
コンパクトで堅牢：可動部品なし、マイクロフォンをセンサーとして搭載
優れたメンテナンス性：各パーツは簡単に交換可能
プラグアンドプレイで簡単に操作
自己診断機能、アラーム機能が含まれたソフトウエアを提供

製品情報

仕様アプリケーション PDF資料
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仕様

測定仕様

測定範囲	typ. ＞10⁴、検出限界（LOD）から最大レンジまで
検出限界（LOD）	＜ 10 ppb ※アプリケーションおよび共存ガスの条件により異なります
繰り返し精度	読取値またはLODの＜ 2 %
精度	読取値またはLODの＜ 2 %
応答時間 T90	typ. 2-3sec　※LODによります
最大測定速度	10 Hz

一般仕様

電力	～10W、24V DC
インターフェース	RS485
プロトコル	Modbus RTU
寸法	115×170×108 mm
重量	＜ 2 kg
ガスコネクター	1/8”　O.D. Swagelok
動作温度範囲	typ. 10 ～ 30 ℃
湿度	0 ～ 95 %、結露なきこと

サンプリング仕様

ガス消費量	80 ml /min
ガスセル容量	1 ml
サンプル温度	露点温度を下回らないこと
ガス圧力	0.5-2 bar.a （圧力センサー必要）