EUVハイパスフィルタ

特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。
フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。
また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。

製品の特徴

フィルタは、追加のハードウェアとして分光計の入口スリットの前に設置可能
15～50nmの範囲で波長カットオフを連続的に変更可能
入射光にフィルタリングの効果を与えないように、フィルタを完全に開くことが可能
フィルタは、分光器の光学部品（スリット、回折格子、CCD）に損傷を与えるイオンに対し、追加的な防護策として機能

製品情報

仕様技術情報 PDF資料
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仕様

カットオフ波長変更可能範囲	15～50nm
減衰	10-4
アライメント	組み込み式
真空インターフェイス	KF-40
寸法	210×130×130mm
フィルタ制御	USB