特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。
フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。
また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。
EUVハイパスフィルタ
製品の特徴
- フィルタは、追加のハードウェアとして分光計の入口スリットの前に設置可能
- 15~50nmの範囲で波長カットオフを連続的に変更可能
- 入射光にフィルタリングの効果を与えないように、フィルタを完全に開くことが可能
- フィルタは、分光器の光学部品(スリット、回折格子、CCD)に損傷を与えるイオンに対し、追加的な防護策として機能
製品情報
仕様
カットオフ波長変更可能範囲 | 15~50nm |
---|---|
減衰 | 10-4 |
アライメント | 組み込み式 |
真空インターフェイス | KF-40 |
寸法 | 210×130×130mm |
フィルタ制御 | USB |
技術情報
異なるフィルタカットオフ波長でAGS分光計が取得したSnLPPプラズマスペクトルの例

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