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EUVハイパスフィルタ

EUVハイパスフィルタ

ISTEQ

特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。
フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。
また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。

製品の特徴

  • フィルタは、追加のハードウェアとして分光計の入口スリットの前に設置可能
  • 15~50nmの範囲で波長カットオフを連続的に変更可能
  • 入射光にフィルタリングの効果を与えないように、フィルタを完全に開くことが可能
  • フィルタは、分光器の光学部品(スリット、回折格子、CCD)に損傷を与えるイオンに対し、追加的な防護策として機能
 

製品情報

仕様

カットオフ波長変更可能範囲15~50nm
減衰10-4
アライメント組み込み式
真空インターフェイスKF-40
寸法210×130×130mm
フィルタ制御USB

技術情報

異なるフィルタカットオフ波長でAGS分光計が取得したSnLPPプラズマスペクトルの例

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X線/EUV/VUV 分光製品

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