X線/EUV/VUV 分光製品
XUV-VUV 分光器AGS
AGSは広いスペクトル範囲が1回の計測で記録できるように設計された、小型で軽量な分光器です。 この分光器は、短パルスレーザー実験の研究および特性解明のために特別に開発されました。 絶対強度およびスペクトルの校正によって、レーザーベースのXUV-VUV線源（DPPおよびLPP線源）、およびプラズマ表面やガス状媒体からの高次高調波発生等から放出されたフォトン数を特定できます。
VUV-QFF 分光器
VUV-QFF分光器は3個1組の回折格子を使用することで、5～150nmの広いVUV範囲での測定を実現しています。カスタマイズしたoff-Rowland光学スキームにより、範囲全体で高分解能を実現しています。これにより、本製品は極端紫外線および軟X線の範囲での高分解能スペクトル測定に不可欠で強力な計測器となりました。
EUVハイパスフィルタ
特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。 フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。 また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。
