X線/EUV/VUV 分光製品

EUVハイパスフィルタ

特殊な波長可変EUVハイパスフィルタは、VUVスペクトルの短い部分を抑制するように設計されています。本製品はプラズマと分光計の間に簡単に設置可能な独立モジュールの形式で導入できます。 フィルタの特別設計により、ユーザーはスペクトルのカットオフエッジを広い範囲で変更可能です。 また、スペクトル測定プロセスへの干渉はありません。

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MCP検出器

マイクロチャネルプレート（MCP:Microchannelplate）検出器は、X線およびVUVスペクトル範囲内のパルスプラズマ線源の時間分解イメージ作成またはスペクトル記録用に特別に設計されています。

MCPの感光部分は、複数の領域に分割されます。 各感光領域は、異なる遅延時間で独立にゲート制御されます。 この機能によって、ユーザーは、個々の時間でスペクトルまたはプラズマの複数の画像を取得できます。 またこれらの検出器を非常に多用途の装置として使用できます。 各カメラには、カメラのゲート制御に必要な、特殊な高圧パルスジェネレータが付属しています。

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S100分光器

S100分光器は広帯域190～1100nmで測定可能な小型分光器です。

S100は独自の凹面回折格子の使用により、非常に広い190～1100nmのスペクトル範囲で1nmの高分解能を実現した他に類のない装置です。S100分光器は絶対強度校正を行うことが可能で、可動部品を使用していません。またUSBからコンピュータ制御と電力供給を受けるため、とても使いやすい設計になっています。

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