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分光器・光源・光学部品のケイエルブイ(KLV)

蛍光式ファイバー温度計 Fluo Temp <デモ機あり>


熱電対で計測できない時は、光ファイバー温度計で解決します!

02-Photon Control

Fluo Tempは、LEDと光ファイバーを使用したPhotonControl社製の光学式温度計です。 プローブには導電体が含まれていませんので、強磁場環境や強電場環境など特殊な環境下で使用することが出来ます。 また、応答速度も高速のため半導体製造工程などの温度管理に適しています。

 データシート

製品の特徴

  •  マイクロ波や高周波、および高電圧環境下での計測が可能
  •  手のひらサイズの超小型、軽量
  •  シンプルな構成の組込み向け
  •  様々な用途に対応できる豊富なセンサプローブラインナップ
  • 性能、コスト、納期を満たす光学機器をお探しですか?
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  • 製品に関する詳しい資料をご希望ですか?
  • 標準仕様以外の特殊用途への対応をご希望ですか?
まずはお気軽にお問い合わせください。

製品情報

 仕様

■接触型プローブ
項目 仕様
標準測定範囲 –95℃~+300℃(より広い温度測定範囲の仕様にも対応)
熱応答性 ~100℃/s
標準精度 ±0.5℃(より高い精度の仕様にも対応)
取り付け 応相談
シャフトの長さ 応相談
プローブの長さ 応相談
■液浸型プローブ
項目 仕様
標準測定範囲 –60℃~+200℃(より広い温度測定範囲の仕様にも対応)
標準精度 ±0.5℃(より高い精度の仕様にも対応)
シャフトの長さ 標準2m、5m (より長い仕様にも対応)
プローブの長さ 応相談
最小曲げ半径 最小5mm
■コンバーター

Photon Control 社のコンバーターは、半導体プロセス制御で必要とされる厳しい電場環境、RFプラズマ環境において高精度に測定ができるよう、設計開発されています。

項目 仕様
測定範囲 –100℃~450℃
測定精度 Up to ±0.1℃
サンプリング周期 30Hz
測定分解能 0.01℃
出力更新インターバル 100ms
動作温度 –20℃~+60℃
アナログ出力 4–20mA and 0–10V
デジタル出力 RS232–RS–485 Modbus
供給電圧 12~24VDC

規格 : Canadian Standards Association(CSA)

 技術情報

■光ファイバーによる温度技術

光ファイバーケーブルはセンシング材との間で光を伝送するために使用されます。
これにより強電場および強磁場環境下での影響を受けずに測定ができます。

ウエハー加工装置や半導体関連分野において、光ファイバー計測技術 No.1 グローバルサプライヤーである
Photon Control 社は、「精確さ」「迅速さ」「品質」「パートナーシップ」を最も大切にしております。
また、エッチングや成膜、その他半導体関連のプロセスといった非常に複雑な環境下における、光ファイバーをはじめとする光センシングの高い技術を有しております。

 アプリケーション

  •  マイクロ波反応炉
  •  マイクロ波加熱炉
  •  NMR/MRI
  •  ハイパーサーミア
  •  半導体プラズマ装置温度モニタ
  •  発電所、変電所における温度モニタ
■位置・変位サブシステム

Photon Control 社では、ウエハーやチャックのエッジまたはセンター位置を最小10µm の精度で計測可能な特注の位置・変位センサーを開発製造しています。これらのセンサーは、工場における複数の機器で使用でき、高周波の影響を受けず、高温や低温といった過酷な温度環境下で使用可能です。

 データシート

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