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ガス分析計向け 検出モジュール

ガス分析計向け 検出モジュール

ガス分析計向け 検出モジュール
ガス分析計向け 検出モジュール
MIRSENSE

ppbレベルの低濃度ガスを高感度に検知。モジュール1個で複数のガスを検出可能。

MultiSenseは、量子カスケードレーザー(QCL: Quantum Cascade Laser)と光音響セルを組み合わせたガス検出モジュールです。QCLを最大4個搭載することができ、4種類の異なるガスを検出・監視することが可能です。

mirSense社独自の製造技術により作られた「量子カスケードレーザー」と「光音響分光(PAS)」の技術を基盤としたガス検出モジュールは、共存ガスによる干渉を最小限に抑え低濃度ガス(検出限界:10ppb~1ppm)の検出を実現します。また、高性能なマイクロフォンが搭載されているためダイナミックレンジが広く、低濃度から高濃度までのガスを検知することも可能ですので、短時間で濃度変化を監視する連続排出モニタリング(CEM)やプロセス管理のアプリケーションに最適です。

地球温暖化・大気汚染の原因とされる、生産工場や自動車から排出されるガス種(H2O, NO, NO2, NH3、SF6)の検出が可能です。その他にもCF4,CHOH、CO、CO2、H2S、SO2、N2O、C2H4を近日リリースする予定です。

ガスのモニタリングでお困りの際は是非お問い合わせください。

Mirsenseアプリケーションバナー

製品の特徴

  • プロセスの最適化に適したスペック
    ppmまたはppbレべルまでの微量分析、精度<2%
  • リアルタイムモニタリングが可能
    秒単位の応答速度
  • ガス2種の同時計測が可能
    ※最大4種可能
  • 環境への影響を配慮したデザイン
    ガスセル容量1mℓ、サンプル抽出/流入量を「<80mℓ」まで低減
  • コンパクトで堅牢
    可動部品なし、マイクロフォンをセンサーとして搭載
  • 優れたメンテナンス性
    各パーツは簡単に交換可能
  • プラグアンドプレイで簡単に操作
    自己診断機能、アラーム機能が含まれたソフトウエアを提供
 

製品情報

仕様

測定仕様

   
測定範囲 typ.>10^4、検出限界(LOD)から%まで
検出限界(LOD) ppbまたはppmレベル
※ガス種および共存ガスの条件により異なります
繰返し精度 読取値またはLODの<2%
精度 読取値またはLODの<2%
応答時間 T90 typ. 2-3sec ※LODによります
最大測定速度 >10Hz

一般仕様

   
電力 ~10W、24V DC
インターフェース USB、RS485
プロトコル Modbus RTU
寸法 115×170×108mm
重量 <2kg
ガスコネクター 1/8” O.D. Swagelok
筐体温度範囲 20~45℃
湿度 0~95%、結露なきこと

サンプリング仕様

   
ガス消費量 2-3mℓ/min
ガスセル容量 1mℓ
サンプル温度 露点温度を下回らないこと
ガス圧力 0.5-2 bar.a

対象ガス

ガス種 測定範囲※1検出限界(LOD)※2 精度※3
H2O5ppm~100%5ppm<2%
NO0.5~1000ppm0.5ppm<2%
NO20.5~1000ppm0.5ppm<2%
NH30.1~100ppm0.1ppm<2%
SF60.05~150ppm0.05ppm<2%

※1 目安値、アプリケーション/共存ガスによる
※2 3δ、積算時間60sec
※3 測定値またはLODのX%

上記以外の測定ガスに関してはお問い合わせください。

アプリケーション

技術情報

中赤外で検出可能な成分の例

  • C2F6 ヘキサフルオロエタン
  • C2H4 エチレン
  • C2H5OH エタノール
  • C3H4O アクロレイン
  • CF4 テトラフルオロメタン
  • CH2O(またはHCHO)ホルムアルデヒド
  • C2H6 エタン
  • CH4 メタン
  • CL2 塩素
  • CO 一酸化炭素
  • CO2 二酸化炭素
  • H2O 水
  • H2S 硫化水素
  • H2SO4 硫酸
  • HCl 塩化水素
  • HCN シアン化水素
  • N20 一酸化二窒素
  • NH3 アンモニア
  • NO 一酸化窒素
  • NO2 二酸化窒素
  • COS 硫化カルボニル
  • SF6 六フッ化硫黄
  • SO2 二酸化硫黄
  • SO3 三酸化硫黄

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