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分光器・光源・光学部品のケイエルブイ(KLV)

マルチスペクトルLED光源装置 ALE/1


35-Primlite

ALE/1は、従来の放電ランプに代わる高出力、高安定のLED光源装置です。最大5種類のLEDを内蔵できるため、複数の波長の出力が可能です。また、LEDモジュールは簡単に交換できるため、アプリケーションの変更にも柔軟に対応します。

ALE/1は、多くのプロセスや生産環境へ簡単に統合できるように設計されており、ライトガイドによって対象物に効率よく照射することが可能です。 また、高性能の内部温度管理により、外付けの水冷装置や窒素を必要としません。さらに、機械式シャッターも不要なため、露光時間を10msecまで短縮できます。ご使用の製造装置に含まれるどの機器ともシームレスに通信できるように、様々な種類の通信インターフェースを用意しています。

→ 2017/12/13~12/15 SEMICON JAPAN

 データシート

製品の特徴

  •  ハイパワーUV出力:最大30W
  •  水銀不使用
  •  LEDで高安定、ランニングコスト削減
  •  内蔵するLEDを選択可能
  •  365nm/385nm/405nm/435nm
     (オプションでVIS(470、520、620、660、690nm)、
     NIR(730、770、810、850、970nm)など幅広い波長領域からLEDを選択できます。)
  •  閉ループ制御による出力
  •  外付けの冷却装置不要で、新しいシステムや既存システムへの統合が容易
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製品情報

 仕様

ALE/1.1 ALE/1.2 ALE/1.3
主な用途 フォトリソグラフィ 3Dプリンティング 3Dプリンティング 3Dプリンティング
UV硬化
フォトリソグラフィ
スペクトル 単色 単色 多色 多色 多色
LEDの数 1 1 2 3 3
LEDの出力波長 365nm(i線) or
405nm(h線) or
435nm(g線)
365nm or
385nm or
405nm
385nm,
405nm
365nm,
385nm,
405nm
365nm(i線),
405nm(h線),
435nm(g線)
全放射出力* 最大17W 最大20W 最大24W 最大28W
出力強度* 最大35W/cm2 最大40W/cm2 最大50W/cm2 最大55W/cm2
開口数 0.6/70°(2α)
ライトガイド
オプション
コア径:φ6.5mm/φ8mm 分岐:分岐なし/分岐あり(multi pole) 
長さ:1.5m(標準)/カスタマイズ可
通信インター
フェース
タッチディスプレイ、AUX、USB、PLC、およびフィールドバス(例:CANopen)
熱管理 内部水冷式
寸法(WHD) 28x23x40cm(11.0″×9.1″×15.7″)
重量 14.0kg(30.9lbs)
電源入力 110~240VAC/50-60Hz/1,000W

*ライトガイド(直径8mm、長さ1.5m)の出射端で測定/±10% deviation possible

 技術情報

水銀ランプを使用した場合の従来構成

ALE/1を使用した場合の構成

用途例:フォトリソグラフィ

■ALE/1.1

■ALE/1.3

用途例:3Dプリンティング

■ALE/1.1

■ALE/1.2

■ALE/1.3

用途例:UV硬化

■ALE/1.3

 データシート

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