OSRAM(オスラム)社製 Xeradex(高効率エキシマランプシステム)は新しいパルス点灯方式により、従来のエキシマランプシステムに比べ、4倍のVUV(短波長の真空紫外線)放射パワーが得られます。

ケイエルブイ(KLV)株式会社
ケイエルブイ株式会社(KLV)へのお問い合わせ

TEL:03-3258-1238(代表)サイトマップEnglish中文 chinese 中国語

OSRAM Xeradex ® 
高効率エキシマランプシステム


OSRAM(オスラム)Xeradex 高効率エキシマランプシステム拡大画像を見る

XERADEXは新しいパルス点灯方式により、従来のエキシマランプシステムに比べ、4倍のVUV(短波長の真空紫外線)放射パワーが得られます。

特徴

  • 従来の放電灯(水銀ランプやキセノンランプなど)と異なる発光原理、構造
  • 真空紫外光(VUV)のピーク波長172nmを放射する光源

主な用途

ウェハーの洗浄、ポリマー除去、オゾン精製、超純水の精製など

■ 分光分布図

■ UV / オゾン洗浄のメカニズム

入力エネルギーの40%が有効な真空紫外線の放射に変換されます。
FPD(フラットパネルディスプレイ)のUV/オゾン洗浄におけるXERADEXランプによる照射は、ガラス基板の湿潤性を十分に改善し、低圧水銀ランプの20倍の速さです。
分光分布図 UV / オゾン洗浄のメカニズム

■ 構造図

 
構造図 多方面に渡るアプリケーション
・LCD/OLED基盤洗浄
・有機残留物の除去、レジストの除去
・フォトマスクの洗浄
・エッチング
・光誘導のCVDおよびMetalization(金属化)


オゾン精製
・高効率なオゾン精製:82g/kwh
・冷却不要
・オゾンのイン・サイト生産


その他応用分野
・蛍光体の評価
・光化学の実験
・水浄化と超純水精製

■システム例(XISシリーズ)

 
システム例(XISシリーズ) システム例(XISシリーズ)

仕様

fig No.01
fig No.02
fig No.01 fig No.02
fig No.03
fig No.04
fig No.03 fig No.04
型番 XERADEX20/120 XERDEX50/375 XERADEX100/620
電力(W) 20 50 100
VUV放射出力
(W)
8 20 40
放射強度
(mW/cu)
>45 >40 >45
平均寿命時間
(h)
2500
fig No. 1 or 2 3 4
電源型番 DBD-20-110/240 DBD-100-110/240
(2灯)
DBD-100-110/240
供給電圧 110v、120v230v、240v、選択可
周波数(Hz) 50 / 60
システム消費電力(W) 28 150(2灯) 150
サイズ(LHW)
(mm)
223 × 55 × 112 282 × 80 × 175 282 × 80 × 175
ケーブル長さ
(mm)
600 600(Yシェイプ) 600
寸法単位 mm