XERADEXは新しいパルス点灯方式により､従来のエキシマランプシステムに比べ、４倍のVUV（短波長の真空紫外線）放射パワーが得られます。
特徴
- 従来の放電灯（水銀ランプやキセノンランプなど）と異なる発光原理、構造
- 真空紫外光（VUV）のピーク波長１７２ｎｍを放射する光源
主な用途
ウェハーの洗浄、ポリマー除去、オゾン精製、超純水の精製など
■ 分光分布図 |
■ UV / オゾン洗浄のメカニズム |
入力エネルギーの４０％が有効な真空紫外線の放射に変換されます。 |
FPD（フラットパネルディスプレイ）のUV/オゾン洗浄におけるXERADEXランプによる照射は、ガラス基板の湿潤性を十分に改善し、低圧水銀ランプの20倍の速さです。 |
 |
 |
■ 構造図 |
|
 |
多方面に渡るアプリケーション ・LCD/OLED基盤洗浄 ・有機残留物の除去、レジストの除去 ・フォトマスクの洗浄 ・エッチング ・光誘導のCVDおよびMetalization（金属化） オゾン精製 ・高効率なオゾン精製：82g/kwh ・冷却不要 ・オゾンのイン・サイト生産 その他応用分野 ・蛍光体の評価 ・光化学の実験 ・水浄化と超純水精製 |
■システム例（ＸＩＳシリーズ） |
|
 |
 |
仕様
|
|
||
 |
 |
||
|
|
||
 |
 |
| 型番 | XERADEX20/120 | XERDEX50/375 | XERADEX100/620 |
| 電力（W） | 20 | 50 | 100 |
| VUV放射出力 （W） |
8 | 20 | 40 |
| 放射強度 （ｍW/ｃ㎡） |
>45 | >40 | >45 |
| 平均寿命時間 （h） |
2500 | ||
| fig No. | 1 or 2 | 3 | 4 |
| 電源型番 | DBD-20-110/240 | DBD-100-110/240 （２灯） |
DBD-100-110/240 |
| 供給電圧 | 110ｖ、120ｖ230ｖ、240ｖ、選択可 | ||
| 周波数（Hz） | 50 / 60 | ||
| システム消費電力（W） | 28 | 150（2灯） | 150 |
| サイズ（LHW） （ｍｍ） |
223 × 55 × 112 | 282 × 80 × 175 | 282 × 80 × 175 |
| ケーブル長さ （ｍｍ） |
600 | 600（Yシェイプ） | 600 |
寸法単位 mm
