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MEMS式近赤外分光器(広帯域タイプ)IrSys type T,U,V,OEM
リトローマウント光学系の途中に、MEMS技術で製作したマイクロ揺動ミラー(MOEMSミラー)を配置することにより、波長帯に応じて2種類のディテクタを切り替える業界初のダブルディテクタ方式の分光光学系を実現しました。
この技術により、受光素子に依存していた測定波長の制約が無くなり、従来の近赤外分光器ではカバーできなかった波長域を1台のユニットで実現しました。
これにより用途の幅が広がり、新しい発想へシフトできる分光器が誕生しました。
高額のアレイセンサーは使用していませんが、MOEMSミラーの導入により、同等以上の性能が廉価で実現できます。 |
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